Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9047511 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ist ein hochmoderner Diffusionsofen und sein zugehöriges Zubehör zur Herstellung integrierter Halbleiterschaltungen. TEL ALPHA-8SE ist ein Single-Wafer-Chargen-Diffusionsofen mit einer maximalen Prozesstemperatur von 1000 ° C und verfügt über ein Low-Standing-Wave-Plasma-verbessertes CVD (Chemical Vapor Deposition) -Verfahren für überlegene Gleichmäßigkeit und Geräteleistung. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE ist eine geschlossene zylindrische Legierungskammer, die in drei verschiedenen Modi betrieben werden kann - thermische Oxidation, thermische Nitridation und chemische Dampfabscheidung (CVD). Jeder Modus wird durch einen umfassenden Satz von Parametern gesteuert, einschließlich Gasdruck, Temperatur und Durchflussraten. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE hat eine einzigartige Funktion namens Dual-Winkel-Zyklus-Prozesssteuerung, die es dem Benutzer ermöglicht, während des gesamten Prozesszyklus zwischen verschiedenen Winkeln auszutauschen, was eine einheitlichere Schichten-auf-Wafer-Leistung ermöglicht. ALPHA-8SE verwendet sowohl einen Niedertemperatur-Molybdän-Suszeptor als auch einen Hochtemperatur-Quarz-Suszeptor. Der Molybdän-Suszeptor wird für kurze Prozesszyklen verwendet und ist für eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und geringe Hintergrundverzerrung ausgelegt. Der Hochtemperatur-Quarz-Suszeptor wird für lange Prozesszyklen eingesetzt und kann Temperaturen bis 1000 ° C sicher aufnehmen. ALPHA-8 SE ist mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, darunter ein automatisches Abschaltsystem zur Verhinderung von Überhitzung, Feuchtigkeitssensoren zur Erkennung von Wasserdampf und Drucksensoren zur Erkennung eines niedrigen Prozessdrucks. Es ist auch mit modernsten Partikelfilter- und Waschsystemen für einen überlegenen Umweltschutz ausgestattet. Um eine optimale Leistung und Zuverlässigkeit zu gewährleisten, ist ALPHA 8 SE mit einem umfassenden System von Temperaturreglern ausgestattet, das zwei lokalisierte Prozesstemperaturregler, zwei kryogene Gebläseregler und zwei Gebläsegeschwindigkeitsregler umfasst. So können Anwender verschiedene Bereiche des Ofens unabhängig überwachen und steuern. Der Ofen ist auch mit zwei Halogenlampen ausgestattet, die überlegene Gleichmäßigkeit und ausgezeichnete Partikelleistung bieten. TEL ALPHA 8 SE ist eine umfassende Lösung für Halbleiterverarbeitungsanforderungen und bietet Anwendern überlegene Leistung, Zuverlässigkeit und Sicherheit. Seine einzigartigen Eigenschaften und Zubehör bieten den Anwendern hervorragende thermische Verarbeitung und CVD-Leistung, um eine hervorragende Geräteleistung und Gleichmäßigkeit zu gewährleisten.