Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9065751 zu verkaufen

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ID: 9065751
Wafergröße: 8"
Doped poly furnace, 8" System layout type System hand LL Side maintenance no System paint color white Furnace front surface finish SUS polished #600 Process pressure 500 mTorr Process temperature 620C Mid temp VMM-40-101, 5 zone NGK SH-302 Non SMIF Process gases Process gas 1 Pure N2 Process gas 2 SiH4 Process gas 3 5% PH3/N2 Process gas 4 0.5% PH3/N2 (4) Heater chambers CE Marked 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ist ein Diffusionsofen, der speziell für präzise Mengen an Silizium und anderen Halbleitermaterialien entwickelt wurde. Dieser 8-Kammer-Ofen verfügt über eine unabhängige Temperatur- und Gassteuerung in jeder Kammer, die eine präzise Kontrolle über den Gasfluss und die Massenproduktion von hochwertigen Halbleitermaterialien ermöglicht. Die Nennleistung jeder Kammer ist 600W und kann Temperaturen bis 1150 ° C unterstützen. TEL ALPHA-8SE wird mit einer Reihe von Zubehörteilen geliefert, mit denen der Benutzer sein Setup optimal an seine Bedürfnisse anpassen kann. Dazu gehören ein Quarzrohr, Isolierringe und Maschenförderer zur Unterstützung einer Vielzahl von Wafergrößen. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE über eine PC-gesteuerte PID-Temperatur- und Gasregeleinrichtung, die eine einfache Überwachung und präzise Temperaturabstimmung ermöglicht. Weitere Merkmale sind die Temperaturgleichmäßigkeit von besser als ± 1 ° C und Kommunikationsmöglichkeiten mit Peripheriegeräten mit Ethernet-Protokoll. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E enthält auch eine eigene Vakuumpumpe, um ein ordnungsgemäßes Vakuum für Ihren Prozess zu gewährleisten. Dieses Vakuumsystem besteht aus einer einstufigen mikromolekularen Pumpe, einem Vakuummesser und einem Vakuumverstärker für erhöhte Pumpleistung. Mit einer Pumpgeschwindigkeit von 100 Litern/min ist diese Vakuumpumpe in der Lage, das Aggregat schnell zu evakuieren. Neben den grundlegenden Funktionen ist TOKYO ELECTRON Alpha 8SE in der Lage, viele spezielle Funktionen anzubieten, um das Benutzererlebnis zu verbessern. Zum Beispiel verfügt es über einen erweiterten Rezeptcontroller, mit dem Sie bis zu 20 verschiedene Rezepte speichern können, die Sie mit einem einzigen Klick aufrufen können. Es verfügt außerdem über eine automatische Reinigungsmaschine, die Ausfallzeiten reduziert und ein Energieüberwachungswerkzeug zur Energieeinsparung bietet. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE eine ausgezeichnete Wahl für alle, die eine präzise Kontrolle über Temperaturen und Gasströme für ihre Halbleitermaterialien benötigen. Mit seiner leistungsstarken Leistung und innovativen Funktionen ist es kein Wunder, warum dieses Diffusionsofen & Zubehör-Set so beliebt ist.
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