Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9093709 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ist ein Einzel-Wafer-Diffusionsofen, der für Fabs entwickelt wurde, die eine kostengünstige Wärmebearbeitungslösung mit horizontaler Einwafertechnologie suchen. Das Gerät verfügt über patentierte Innovationen in der Wafertopologie, vertikale Heizkammern zur Aufrechterhaltung der Temperaturgleichförmigkeit und eine Reihe von Prozessgasfähigkeiten. TEL ALPHA-8SE ist ein Diffusionsofen, der Hochtemperaturgas verwendet, um Wafer in einem horizontalen Wafer-Setup zu oxidieren oder zu reduzieren. Es umfasst eine vertikal beheizte Kammer mit einer inneren Heizplatte, die Temperaturen von bis zu 1400 ° C erreichen kann, mit einer Gleichmäßigkeit von ± 2 ° C über die gesamte Oberfläche. Die Wärmekapazität des Systems und die einheitliche Temperaturregelung ermöglichen eine hervorragende thermische Bearbeitungssteuerung mit Prozesszeiten von wenigen Sekunden bis zu mehreren Stunden. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE implementiert auch die neuesten Prozessgastechnologien, die den Einsatz von Ar, H2, N2, N2O, O2 und anderen Gasen unterstützen. Das Gerät umfasst eine mehrstufige Gassteuerungsmaschine, mit der Benutzer die Gasströme und Mischungsverhältnisse einzelner Gaskomponenten genau steuern können. Es unterstützt auch bis zu 8 Absaugventile, so dass Benutzer ihre Diffusionsrezepte anpassen können. Für zusätzliche Flexibilität verfügt TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE auch über eine breite Palette an Zubehör, darunter zusätzliche Waferhalter, Wafer-Handling-Komponenten, ein CVD-Rückseite-Kühlwerkzeug und eine garantierte Bearbeitungstemperaturüberwachung. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E verfügt auch über computergesteuerte Unterstützungseinrichtungen für Wartung, Betriebsprozess und thermische Inspektion und Messung. ALPHA 8 SE ist eine hocheffiziente, kostengünstige Diffusionslösung für Halbleiterhersteller. Sein flexibles und zuverlässiges Design kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen mit zusätzlicher Genauigkeit und anpassbaren Prozessrezepten zu verarbeiten. Funktionen wie die fortschrittliche Gaskontrolle und die vielfältigen Prozessgasfunktionen sorgen für eine erfolgreiche thermische Verarbeitung und ermöglichen eine konsistente Batch-to-Batch-Miniaturisierung.