Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9216087 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9216087
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
PIQ System, 8"
General:
Heater type: VMM-40-101
SMIF / IO: Open cassette type
Process gasses:
Gas 1: MFC1 - N2 (20SLM)
Gas 2: MFC2 - N2 (30SLM)
Gas 3: MFC3 - N2 (3SLM)
Gas 4: MFC4 - O2 (10SLM)
Gas 5: MFC5 - SiH4 (200SCCM)
Gas 6: MFC6 - SiH4 (200SCCM)
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Elctro-polished
Manual valve: FUJIKIN
Air operated valve: FUJIKIN
MFC: AERA
Wafer / Cassette handling
Wafer type: 200mm SEMI STD-Notch
(5) Fork types / Materials
Fork variable pitch
Cassette:
Type: Entergris / XT200-01E
(25) Wafers
(21) Storage cassettes
Boat / Pedestal:
(150) Production wafers
Boat rotation
System controls:
TS-4000Z
Signal tower colors: G/R/A
General pressure display: Mpa
Cabinet exhaust display: Kpa
Furnace temperature controller: M121
Host communications:
Host computer
Host computer I/F: SECS I/II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U / Box top
Group controller: JGA
Power:
Heater: 208 V, 3 Phase, 31.6 KVA
Voltage: 208 V, 1 Phase: 2.3 KVA
Pump: 208 V, 3 phase: 12.4 KVA
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ist ein Einzel-Wafer, Hochtemperatur-Diffusionsofen und Zubehör speziell für Halbleiterherstellungsprozesse entwickelt. TEL ALPHA-8SE ist ein vollautomatischer Produktionsofen, der den anspruchsvollen Anforderungen moderner Halbleiterhersteller gerecht wird. Es verfügt über Acht-Zonen-Steuerungen, die eine genaue Temperatur- und Atmosphärenkontrolle in jeder Zone ermöglichen und gleichmäßige Temperaturen während des gesamten Prozesses gewährleisten. Jede der acht Zonen ist mit individuell einstellbarer Heizleistung ausgestattet, um Werkstücke unterschiedlicher Größe aufzunehmen. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 Die heiße Zonentemperatur der SE kann auf bis zu 1250 ° C erhöht werden, sodass sie mehr Hochtemperaturdiffusionsprozesse aufnehmen kann. ALPHA 8 SE werden auch mit der Thermoelementpositionssensortechnologie ausgestattet, die genaue Temperaturkontrolle berücksichtigt. Der Sensor überwacht die Temperatur jedes Werkstücks auf gleichmäßige Temperaturverteilung. Diese hochmoderne Technologie sorgt für überlegene Leistung und Zuverlässigkeit im Diffusionsprozess. Für maximale Sicherheit und Komfort verfügt ALPHA 8 S E über einen internen Druckmonitor, der eine kontinuierliche Überwachung des Prozessatmosphärendrucks ermöglicht. TEL ALPHA 8 S E verfügt außerdem über eine automatisierte Gasdurchflussregelung, um einstellbare Prozessatmosphärenströme zu ermöglichen, um eine gleichmäßige Temperaturverteilung zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E eine Remote-Prozessüberwachung, ein ausgeklügeltes Interlock-System, Übertemperaturschutz und benutzerfreundliche Eingabe von Prozessprogrammdaten. ALPHA 8S-E ist kompatibel mit einer breiten Palette von Halbleiterspezialgasen und verfügt über automatische Spül- und Spülfunktionen für Gasleitungen. Es ist auch einfach zu warten aufgrund seiner abgedichteten Gehäuse, verbesserte Gasströmungssysteme und automatische Kondensatentfernung. Durch den Einsatz von Alpha 8SE können Halbleiterhersteller hochgenaue und zuverlässige Wafer herstellen. Es ist eine langlebige, zuverlässige und effiziente Wahl für Halbleiterprozesse, die eine präzise Temperatur- und Atmosphärensteuerung erfordern.
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