Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9233746 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9233746
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2008
Vertical LPCVD furnace, 8"
Process: High temp oxide
High temperature furnace
SMIF System: ASYST Indexer
Handler system: TEL / TOKYO ELECTRON Robot
Utility box
Transformer
UPS
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen und Zubehör für fortgeschrittene Forschung und Entwicklung. Es ist mit acht separaten und autonomen Kanälen mit unabhängigen Heiz- und Kühlzonen ausgestattet und eignet sich somit perfekt für Chargenprozesse in großen Forschungs- und Entwicklungslabors. TEL ALPHA-8SE verfügt über fortgeschrittene Controller, die eine genaue Kontrolle über jede Zone ermöglichen und die Einrichtung und wiederholbare Ergebnisse erleichtern. Die Hauptkammer von TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE besteht aus Edelstahl und ermöglicht das Be- und Entladen von bis zu 8 8-Zoll-Wafern. Die Kammer hat eine integrierte Isolierung, um eine gleichmäßige Erwärmung und Kühlung von Substraten zu gewährleisten. Der Waferlader und der Entlader sind mit einer Vakuumklemmung für eine einfache Handhabung ausgestattet und bieten eine zusätzliche Sicherheit. Alpha 8SE kann eine maximale Temperatur von bis zu 1200 ° C für bis zu 2 Stunden halten und ist für die Hochtemperaturverarbeitung spezifiziert. Diese Hochtemperaturfähigkeit wird durch eine fortschrittliche Wirbelschicht-Wärmequelle angetrieben, die effizient und in der Lage ist, extrem schnell zu heizen und zu kühlen. Die Wärmequelle verwendet auch eine Graphitauskleidung, wodurch sie beständig gegen korrosive Gase ist, die während der Verarbeitung eingespritzt werden können. ALPHA 8 S E verfügt über ein fortschrittliches Prozesssteuerungssystem, das Echtzeit-Temperatur- und Drucksensoren in der gesamten Kammer verwendet und prädiktive Algorithmen verwendet, um die höchste Prozessgenauigkeit zu gewährleisten. Es wird mit einer siebenzölligen touchscreen Benutzerschnittstelle ausgestattet, die dem Betreiber erlaubt, den kompletten Prozess zu kontrollieren. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE mit einer Vielzahl von Anwendungen von Drittanbietern kompatibel und kann in Prozessleitsysteme integriert werden. TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE wird auch mit einer Vielzahl von Zubehörteilen geliefert, darunter Gaspaneele und eine Evakuierungspaneele, die für ein komplettes und zuverlässiges Diffusionsofensystem entwickelt wurden. Es ist auch kompatibel mit einer Vielzahl von Prozessgefäßen für schnelle Rampenraten und volle Flexibilität für den Prozess. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE ist ein vollautomatisches System und wird mit integrierten Sicherheitssensoren und Protokollen geliefert, um die Sicherheit des Benutzers während des Betriebs zu gewährleisten. TEL ALPHA 8S-E ist ein ausgezeichneter Diffusionsofen für große Forschungs- und Entwicklungslabore. Sein robustes und zuverlässiges Design, fortschrittliche Controller und Zubehör machen es zur perfekten Wahl für Chargenprozesse und fortschrittliche Forschung und Entwicklung.
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