Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9237580 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9237580
Wafergröße: 4"
Weinlese: 1999
Vertical furnace, 4"
Process: CAP-SIN
Layout type: U/Box type
LL Hand
Heater type: VOS-40-017 FTP
Rapid cooling unit
TORAY LC-750 N2 Purge system
O2 Densimeter
Pressure control: CKD
SMIF Not installed (I/O Type)
Wafer transfer: 1+4 Pitch change
(21) Cassette stockers
(100) Process wafers
Power supply: 208VAC / 208VAC, 1-Ph / 3-Ph
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ist ein industrieller Diffusionsofen, der speziell für fortschrittliche Herstellungsverfahren von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es ist mit Präzisionstemperatur-, Druck- und Durchflussreglern ausgestattet und bietet Hochgeschwindigkeits- und Hochgenauigkeitsfähigkeit. TEL ALPHA-8SE ist mit extrem niedriger thermischer Drift und überlegenem Schutz ausgelegt und gewährleistet Sicherheit und Zuverlässigkeit bei der Geräteherstellung. Dieses Modell verfügt über eine 8-Zonen-zylindrische beheizte Bahn, die eine großflächige Heizung bietet, die eine gleichmäßige Erwärmung über den gesamten beheizten Bereich ermöglicht. Darüber hinaus verfügt es über eine einstellbare Temperaturprofilregelung, die eine präzise Anpassung des Heizprofils an die zu bearbeitenden Materialien ermöglicht. Die große Zugangstür, die optimierten Entlüftungsöffnungen und das Luftstromdesign sorgen zudem für Sicherheit und Effizienz im Diffusionsprozess. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE verfügt zudem über eine mehrstufige Fernbedienung, die eine maßgeschneiderte Steuerung des Diffusionsprozesses von mehreren Punkten aus ermöglicht. Es umfasst auch eine Reihe von automatisierten Materialübertragungssystemen, um ein reibungsloses und effizientes Be- und Entladen von Materialien zu gewährleisten. Die schwingungsarme Funktion vereinfacht den Prozess weiter, indem dynamische Luftlager, Mikroschwingungssensoren und eine aktive Schwingungsregelung angeboten werden. Dies reduziert die Beanspruchung von Teilen während des Diffusionsprozesses und reduziert Verschmutzungen. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE ist auf die Kompatibilität mit einer Reihe von Zubehör und Verbrauchsmaterialien ausgelegt. Dazu gehören spezielle Probenhalter, Quarzrohre und Adapter sowie automatische Ladesysteme, Gasflaschen und hochreines Verbrauchszubehör. So können Anwender ihre Diffusionsprozesse auf optimale Ergebnisse abstimmen. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE ein fortschrittlicher, leistungsstarker Diffusionsofen und Zubehör, perfekt für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Die fortschrittlichen Temperatur-, Druck- und Durchflussregler, die schwingungsarme Funktion und die Palette automatisierter Materialübertragungssysteme sorgen für Sicherheit, Zuverlässigkeit und Genauigkeit bei der Geräteherstellung.
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