Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9260381 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9260381
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2016
Furnace, 6"
Process: HTO / TEOS
Deep bay layout
I-Type furnace and UP/box
Furnace cabinets and Ultra-clean air flow system
Scavenger and water cooling unit
Main controller (WAVES)
Cassette and wafer handling automation:
Boat elevator
Wafer counter
SiC Wafer flat alignment, 6" (On I/O port)
Cassette storage: 21
Gas system for DCS: HTO / TEOS Process
Exhaust configuration: LP-CVD DCS-HTO, TEOS
Mid temperature heater: 8" Heating element
N2 Load lock system
Maintenance jig
UPS
Ingenuity connection
2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE Diffusionsofen ist eine hochmoderne Halbleiterherstellungsanlage zur Herstellung und Steuerung von Halbleitermaterialien und -bauelementen. Der Ofen ist für eine Vielzahl von kritischen und vielfältigen Diffusionsprozessen ausgelegt, die eine präzise Kontrolle der Temperatur und Atmosphäre erfordern. Diese fortschrittliche Ausrüstung ist ideal für Experimente und die Herstellung von Halbleiterbauelementen aufgrund ihrer Fähigkeit, Wafer unterschiedlicher Größen und Formen gleichmäßig zu verarbeiten und ihre überlegene Wiederholbarkeit. Der Ofen wird mit einem Paar luftdichter Edelstahlkammern mit jeweils eigenständig gesteuerter Temperatur und Atmosphäre konstruiert. Dies ermöglicht eine gleichmäßige Verarbeitung mehrerer Substrate innerhalb desselben Prozesses unter Aufrechterhaltung der totalen Kontrolle über die Diffusionstemperaturen. Innerhalb der Kammer kann ein Paar induktiver Spulen die Wafer präzise auf ein gewünschtes Temperaturniveau erwärmen und eine stabile Diffusionsumgebung aufrechterhalten. Je nach Art des ablaufenden Diffusionsprozesses kann die Umgebung entweder durch die Umgebungsatmosphäre oder ein Inertgas aufrechterhalten werden. Der Ofen verfügt über eine eingebaute Steuerung, die es dem Bediener ermöglicht, die Temperatur innerhalb der Kammer für jeden Wafer auf erhöhte Genauigkeit einzustellen. Bediener können das Temperaturprofil auch so programmieren, dass es sich mit der Diffusionstemperatur bewegt, was ein gleichmäßiges und wiederholbares Ergebnis ermöglicht. Das im Ofen verwendete hochwertige Isoliermaterial reduziert nicht nur den Wärmeverlust, sondern behält auch die Temperaturstabilität und Gleichmäßigkeit in der gesamten Kammer bei. Zusätzlich zu seinen leistungsstarken Funktionen verfügt TEL ALPHA-8SE über eine Reihe von Zubehör, um seine Fähigkeiten zur Erfüllung der Kundenbedürfnisse weiter zu verbessern. Dazu gehören ein automatisiertes Be- und Entladesystem, eine Stickstoffquelle und ein digitales Ladegerät. Dieser Diffusionsofen eignet sich für eine Vielzahl von Diffusionsprozessen von Niedertemperaturanwendungen bis hin zu Hochtemperaturprozessen. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE Diffusionsofen ist ein leistungsfähiges und vielseitiges Werkzeug zur Herstellung und Prüfung von Halbleiterbauelementen. Sein hochmodernes Design sorgt dafür, dass höchste Qualitätsresultate konsequent und zuverlässig unter totaler Kontrolle über Temperatur und Atmosphäre produziert werden. Das Sortiment an Zubehör für dieses Gerät ermöglicht eine weitere Anpassung, so dass es eine ideale Wahl für diejenigen, die in der Industrie und Forschung.
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