Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9282682 zu verkaufen

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE
Verkauft
ID: 9282682
Weinlese: 2007
Pyro furnace Process: LPRO 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ist eine multifunktionale Diffusionsofenanlage zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. TEL ALPHA-8SE kann sowohl Tief- als auch Hochtemperaturprozesse mit einem Bereich von 1000 ° C bis 2200 ° C durchführen. Es ist mit modernsten Technologien wie Divertor-Monitoren, Näherungssensoren und automatischen Fernschaltfunktionen ausgestattet. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE enthält ein Quarz- und Keramikreaktionsrohr für maximale Prozessgleichmäßigkeit und Temperaturhomogenität, was eine bessere Wafer-Gleichmäßigkeit und verbesserte Ausbeute während des gesamten Prozesses ermöglicht. Seine niedrigen und hohen Temperaturprozessfunktionen, zusammen mit seinem einzigartigen hohen Temperaturgallium arsenide Prozessfähigkeit, ermöglichen Gerätherstellern, optimale Ergebnisse mit einer Vielfalt von Halbleiterprozessen zu erreichen. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E verfügt zudem über eine fortschrittliche Abgasanlage, die für bis zu drei Walzen für optimale Prozessgleichmäßigkeit und Temperaturhomogenität bei mehrstufigen Prozessen konfiguriert werden kann. Seine erweiterten Echtzeit-Diagnoseüberwachungsfunktionen ermöglichen eine präzise Kontrolle der Parameter des Geräts zu jedem Zeitpunkt, was zu einer besseren Wafer-Gleichmäßigkeit und einer verbesserten Ausbeute führt. Die Schnellstartfähigkeit von TEL ALPHA 8 S E gewährleistet eine robuste Prozessüberwachung und einen hohen Durchsatz und reduziert so die Rüst- und Prozesszeiten. Es ist zusätzlich zur Konfiguration der Dual-Tube-Maschine auch mit einem automatischen Gasleitungseingang ausgestattet, der es ideal für mehrstufige Prozesse macht. Es ist mit einem automatisierten Temperaturregelbecher ausgelegt, der eine präzise Temperatur innerhalb der Kammer sowie eine präzise Regelung der Wassertemperatur der Waferhalter gewährleistet. TEL ALPHA-8 SE ist auch mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, die die Verwendung für eine Vielzahl von Anwendungen erleichtern, wie z. B. das Bedienungs-Überwachungs-Tool, das die Prozessvisualisierung und die Möglichkeit bietet, Änderungen in Echtzeit einfach vorzunehmen. Seine automatischen Fernschaltfunktionen ermöglichen den gleichzeitigen Anschluss mehrerer Diffusionswerkzeuge und ermöglichen ein einfaches Umschalten zwischen den verschiedenen Werkzeugen. Eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) ermöglicht eine vereinfachte Bedienung des Assets. Darüber hinaus ist Alpha 8SE mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen konzipiert, um einen ordnungsgemäßen Betrieb zu gewährleisten, wie Überstromschutz, Not-Aus-Tasten, Wasserdruckbruchmelder und ein Hochtemperatur-Kühlmittelmodell. Es ist auch mit einer Fernverriegelung zur Isolierung einzelner Leitungen ausgestattet, die den Betrieb mehrerer Prozessoren ohne die Gefahr einer versehentlichen Kreuzkontamination ermöglicht. Alles in allem, ALPHA 8S-E ist eine robuste und vielseitige Verbreitungsbrennofenausrüstung, die für eine Vielfalt des Halbleitergeräts Produktionsanwendungen vollkommen ist. Dank seiner fortschrittlichen Eigenschaften eignet es sich für Forschung und Entwicklung sowie für Massenproduktionszwecke.
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