Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #93405 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 93405
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2002
APCVD furnace, 8"
Heater Model/Part No: VOS-40-017
Process: PIX Cure
Software Version: WAVE Controller
System Power Rating: 110AC One Phase / 208 AC
Loading Configuration 4 Loader
N2 LL
150 Wafer Load
Main System:
WAVES Controller
Photohelic Gauge
Boat Elevator
Wafer Load Automation
21 Cassette Stocker
Temperature Controller (M560)
Furnace Monitor, Power Control Unit
Remote Utility&Gas Cabinet
Inner T/C for Ration Mix
O2 Detector
Auto Shutter
Gas System (SiH4,CLF3,5%PH3,O2,N2,)
Options:
Signal Tower
Pitch Change Mechanism
UPS
GEM Communication
N2 Load Lock Ambient Control:
Quartz ware
Load lock purge system
Process gas O2,N2,
Gas Type - Convention Gas System
Tubing material - Stainless steel
Tubing Finish - Electro-polish
Manual valve - Fujikin
Fitting Type - VCR/UJR
Air-Operated valve - Fujikin
Filter - Millipore
Regulator - Veriflo
MFC - Aera
Pressure transducer - Millipore or NAGANO
Remote Components:
UTILITY BOX x1. Power Rating: 110/208AC
RCU cabinet x1 Power Rating: 110/208V
UPS x1. Power Rating: 110AC-1
Crated in a warehouse
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das eine hocheffiziente und kostengünstige Produktion von elektronischen Komponenten bietet. Es kann in bestehende Produktionslinien integriert werden und ist mit seiner automatisierten Lade-, Temperatur- und geschlossenen Anlagentechnik einfach zu bedienen. Der Ofen verwendet ein geschlossenes Gasfördersystem und ist mit einer leistungsstarken vertikalen und horizontalen Gasfördereinheit gebaut, die eine maximale Temperatur von bis zu 1600 ° C ergibt. Aufgrund der starken Konstruktion von TEL ALPHA-8SE hat es einen sehr langen Lebenszyklus und eignet sich für lange Aufgaben, die hohe Temperaturen erfordern. Der Ofen kann auch in einer großvolumigen Umgebung arbeiten, da er bis zu 10 Gasquellen gleichzeitig aufnehmen kann. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE enthält auch eine Wasserkühlmaschine, die den Einsatz in feuchten oder nassen Umgebungen sicher macht. Dieses Werkzeug hilft auch, stabile Temperaturen für eine schnellere Kühlung und Wärmeverteilung zu gewährleisten. Darüber hinaus kann es mit reinem Stickstoff eine maximale Leckage von 0,5% erreichen, wodurch eine Oxidation in den Endprodukten verhindert wird. Darüber hinaus ist TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E mit einem einzigartigen Satz von variablen Steuerungen ausgestattet, die leicht mit nur einer Berührung eingestellt werden können, so dass der Bediener die Einstellungen entsprechend den unterschiedlichen Produktionsanforderungen anpassen kann. Der Ofen hat auch andere Optionen wie Mehrzonen-Temperaturregelung, variabler Gasfluss und eine Pre-Pay-Check-Funktion, um die systematische Produktion zu unterstützen. TEL Alpha 8SE ist eine effiziente und zuverlässige Diffusionsofenanlage, die sich perfekt für die Serienproduktion eignet. Mit automatisierter Beladung, Temperaturregelung und geschlossener Modelltechnik ist ALPHA-8SE die perfekte Wahl für alle, die eine komplette Diffusionsofen- und Zubehörlösung für ihre nächste Produktionslinie suchen.
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