Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi #293830601 zu verkaufen

ID: 293830601
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2019
Furnace, 6" Process: Poly SECS/GEM (5) Zones CE Mark certified System controller: WAVES Temperature range: 500-1000°C Temperature controller: 560-A Front surface finish: White O-Ring tube seal Signal lamp tower Gas leak detection Wafer type: FLAT Wafer handler type: 5 Fork Fork material: Alumina Stocker: 21 Carrier Load size: 170 Transfer stage wafer position sensor Fork wafer position sensor MFC type: Horiba STEC Pressure display units: MPA Control pressure sensor: MKS 623B Main valve heated lines TORR and MPA Pressure display units CKD-VEC-R Main valve Cooling water connection: Bottom Incoming gas connection: Top Vacuum foreline: Bottom Furnace exhaust connection: Top Vent exhaust connection: Top Gas unit exhaust connection: Top Pressure relief drain: Bottom Cabinet exhaust display units: TORR Internal UPS FUJI M-UPS GX100 Gas / MFC Model / Line / MFC Size N2 / Aera / ¼” / 20 L N2 / Aera / ¼” / 5 L x 5 SiH4 / Aera / ¼” / 500cc x 2 H2 / Aera / ¼” / 200cc x 3 0.5% BCl3/H2 / Aera / ¼” / 100cc x 3 Power supply: 120 V, 1Phase + 480 V, 3Phase 2019 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi ist eine hochmoderne Diffusionsofenanlage für die Serienproduktion von Halbleiterbauelementen. Es ist ein hochentwickeltes und vielseitiges Werkzeug, das eine präzise Kontrolle über den Diffusionsprozess bietet, was zu überlegener Geräteleistung und Ausbeute führt. TEL Alpha 8SEi ist mit modernster Technologie und innovativen Funktionen ausgestattet, die es zu einer bevorzugten Wahl für führende Halbleiterhersteller weltweit machen. Eines der Hauptmerkmale von TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi ist sein einzigartiges horizontales Ofendesign, das eine effiziente und gleichmäßige Diffusion von Dotierstoffmaterialien auf die Oberfläche von Siliziumwafern ermöglicht. Diese Konstruktion minimiert Fehler und sorgt für konsistente Geräteeigenschaften über den Wafer, was zu verbesserten Erträgen und Gesamtleistung der Geräte führt. Die horizontale Konfiguration ermöglicht auch einfaches Be- und Entladen von Wafern, reduziert Ausfallzeiten und steigert die Produktivität. Alpha 8SEi ist in der Lage, eine breite Palette von Prozessgasen und Dotierstoffmaterialien zu handhaben, so dass es für eine Vielzahl von Diffusionsanwendungen geeignet ist. Es bietet eine präzise Temperaturregelung bis 1200 ° C und ermöglicht die Anpassung von Diffusionsprofilen an spezifische Geräteanforderungen. Das System ist mit fortschrittlichen Gasdurchflussregelungsmechanismen und Prozessüberwachungsfunktionen ausgestattet, um zuverlässige und wiederholbare Diffusionsergebnisse zu gewährleisten. Neben seinem primären Diffusionsofen kommt TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi mit einer Reihe von Zubehör und Optionen, die seine Leistung und Vielseitigkeit verbessern. Dieses Zubehör umfasst eine spezielle Gashandhabungseinheit, eine computergestützte Steuerschnittstelle und erweiterte Wafer-Handhabungsmechanismen. Die Maschine kann mit einer Reihe von Automatisierungslösungen wie Roboter-Wafer-Transfersystemen und fortschrittlicher Prozesssteuerungssoftware integriert werden, um die Produktionsabläufe weiter zu optimieren und die Gesamteffizienz zu verbessern. TEL Alpha 8SEi ist mit einem Fokus auf Sicherheit und Zuverlässigkeit konzipiert, mit fortschrittlichen Sicherheitsverriegelungen, Übertemperaturschutzmechanismen und umfassenden Diagnosewerkzeugen. Das Werkzeug ist nach strengen Qualitätsstandards gebaut und wird streng geprüft, um seine Haltbarkeit und langfristige Zuverlässigkeit in einer serienreichen Umgebung zu gewährleisten. TEL bietet umfassende Schulungs- und Support-Services, um Kunden zu helfen, die Leistung und Effizienz von TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi Asset zu maximieren. Insgesamt ist Alpha 8SEi Diffusionsofenmodell ein modernes Werkzeug, das unübertroffene Präzision, Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit für Halbleiterherstellungsanwendungen bietet. Mit seinem innovativen Design, fortschrittlichen Funktionen und umfassenden Support-Services ist TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi eine ideale Wahl für Halbleiterhersteller, die hohe Erträge, überlegene Geräteleistung und operative Exzellenz in ihren Produktionsprozessen erzielen möchten.
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