Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON APT-2800 #9280808 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON APT-2800 ist ein Diffusions- und Zubehörpaket, das hauptsächlich in Halbleiterherstellungsverfahren zur Abscheidung und/oder Dotierstofftrennung von dünnen Schichten auf Halbleiterscheiben verwendet wird. Es verfügt über Quarzkammerkonstruktion, mit einer eingebauten Waferheizung, einem effizienten Muffelgebläse-Design und einem direkten digitalen Prozessregler zur präzisen Temperaturregelung. Das Paket wurde gebaut, um zwei Waferboote in seinem Inneren unterzubringen und enthält eine innovative Gasausrüstung, um eine einheitliche Folienqualität zu gewährleisten. TEL APT-2800 nutzt ein Steuerungssystem für elektro-thermisches Gleichgewicht, um eine genaue Temperaturregelung der Diffusionskammer zu gewährleisten, so dass Heiz- und Kühlprozesse schnell und effizient ablaufen können. Die in die Verpackung integrierte Waferheizung hat einen einstellbaren Bereich von 300 Grad Celsius bis 1500 Grad Celsius, mit einer Heizgleichförmigkeit, die die Temperaturdifferenz über benachbarte Wafer bei weniger als ± 4 Grad Celsius hält. Das Muffelgebläse sorgt für einen laminaren Gasstrom, um durch sein einstellbares Luftvolumen von 100-180 mL/min eine gleichmäßige Diffusion über den Wafer zu gewährleisten. Ein einziges Bedienfeld, das sowohl mit TEL als auch mit JEOL-Gerätepaketen konfiguriert ist, ist in das Gerät integriert, um Benutzern eine genaue Temperaturregelung für die aktuelle Zeit zu ermöglichen. Das Bedienfeld ist auch mit acht voreingestellten Rezepten für Filmabscheidungsprozesse programmiert, um eine einheitliche Prozesssteuerung zu gewährleisten. Die innovative Gasmaschine in TOKYO ELECTRON APT-2800 erleichtert nicht nur die präzise Abscheidung von Folien auf Wafern, sondern hilft auch, die Menge an Abscheideabfällen zu reduzieren. Seine 400-Zylinder-Speicherkapazität ist in der Lage, bis zu 500 sccm Gas für den Einsatz in Abscheidungsprozessen zu halten, und seine schnelle Reaktion Gasfluss-Einstellung bietet Anwendern eine vollständige Prozesssteuerung. APT-2800 ist unter Berücksichtigung der Sicherheit seiner Benutzer konzipiert, und eine breite Palette von integrierten Sicherheitsfunktionen sind in das Paket integriert. Dazu gehören Sensoren für luftgetragene Materialien, elektronische Temperaturüberwachungen, Alarme der Stufe 1 und ein automatisiertes Abschaltwerkzeug zur Vermeidung von Vermögensausfällen. Zusammenfassend ist TEL/TOKYO ELECTRON APT-2800 ein fortschrittliches Diffusions- und Zubehörpaket, das den Anforderungen von Halbleiterherstellungsprozessen gerecht wird und gleichzeitig Benutzerfreundlichkeit und eine sichere Atmosphäre bietet. Das Gehäuse ist mit einem präzisen elektro-thermischen Gleichgewichtskontrollmodell, einem effizienten Muffelgebläse und einer innovativen Gasausrüstung für einheitliche Filmabscheidungsprozesse ausgestattet. Es ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen konzipiert, um die Sicherheit seiner Benutzer zu gewährleisten.