Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula 2L1B #9309492 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Formula 2L1B ist ein zweistufiger horizontaler Diffusionsofen und begleitendes Zubehör, das speziell auf die Anforderungen lithographiebasierter Prozessanwendungen zugeschnitten ist. Diese Ausrüstung bietet überlegene Temperaturgleichmäßigkeit, hohen Durchsatz und hohe Genauigkeit. Das 2L1B verfügt über zwei verschiedene Ofenkammern: die Prozesskammer und eine RTP-Kammer. Die Prozesskammer beherbergt den Produktwafer und wird durch Ober- und Heißplattenrohre beheizt, die eine optimale Temperaturgleichförmigkeit über den gesamten Wafer bewirken. Die Heizplattentemperatur wird unabhängig geregelt und ermöglicht eine präzise Temperaturregelung für jeden Wafer. Die RTP-Kammer ist für eine schnelle thermische Verarbeitung ausgelegt, wodurch kürzere Bearbeitungszeiten zu einem höheren Durchsatz führen. Das Zubehörpaket des 2L1B umfasst unter anderem ein Kühlgebläse, einen Abgaskanal, einen Verdünnungskanal und eine Sicherheitstafel. Das Kühlgebläse hilft, die Produktscheibe nach der Verarbeitung effizient abzukühlen und der Abgaskanal entleert die Abgase effizient aus der Prozesskammer. Der Verdünnungskanal hilft bei der Regelung und Einstellung der Rohrtemperaturen in beiden Kammern. Die Sicherheitstafel verfügt über ein Verriegelungssystem, das eine sichere Prozessumgebung gewährleistet. Das 2L1B verfügt auch über fortschrittliche Temperatur- und Wasserkontrollsysteme, um die Prozessqualität weiter zu verbessern. Das Temperaturregelsystem überwacht und hält die geregelten Temperaturen für jede Ofenkammer aufrecht, wodurch eine hohe Prozessgleichförmigkeit gewährleistet ist. Das Wasserkontrollsystem verbessert die Temperaturgleichförmigkeit und bietet ausgezeichnete Temperaturgenauigkeit und Stabilität, was zu überlegener Waferqualität führt. Insgesamt ist TEL Formula 2L1B eine ausgezeichnete Wahl für lithographiebasierte Prozessanwendungen. Das zweistufige horizontale Ofendesign und das umfassende Zubehörpaket sorgen für überlegene Temperaturgleichmäßigkeit, hohen Durchsatz und überlegene Temperaturgenauigkeit und Stabilität. Dieses Gerät ist mit einer breiten Palette von optionalen Funktionen und Upgrades erhältlich und ist damit eines der robustesten Diffusionssysteme auf dem Markt.