Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON H-LP #9137193 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON H-LP ist ein Diffusionsofen, der speziell auf präzise thermische Prozesse und Reinraumbedingungen ausgelegt ist. Ziel dieses Ofens ist es, mikroelektronische Bauelemente durch eine in Halbleiterherstellungsprozessen notwendige Glühbehandlung massenhaft herzustellen. Es kann auch verwendet werden, um eine Vielzahl von Substraten mit verschiedenen thermischen Verfahren, wie Oxidation, Epitaxie und Legierung gleichmäßig herzustellen. TEL H-LP Diffusionsofen besteht aus drei Hauptkomponenten: der thermischen Zyklusausrüstung, der Roboterübertragungsausrüstung und der automatisierten Steuerungssoftware. Die thermische Zyklusausrüstung ist für die Steuerung des thermischen Prozesses durch Heizung und Kühlung verantwortlich. Es ist speziell für die gleichzeitige, effiziente Aufnahme von bis zu 3 Modulen ausgelegt. Das Robotertransfersystem ist für das automatische Abrufen und Einbringen von Substraten in den Ofen in einer Reinraumumgebung verantwortlich. Die automatisierte Steuerungssoftware dient der Überwachung und Rationalisierung von Produktionsprozessen durch Anpassung von Parametern in Echtzeit. TOKYO ELECTRON H-LP Diffusionsofen bietet eine Vielzahl von Funktionen, um die Genauigkeit und Effizienz von thermischen Prozessen zu verbessern. Zum Beispiel verwendet seine einzigartige Zwangskühleinheit Luft vom Gebläse, das die Temperaturschwankungen kontrolliert und gleichzeitig keine Raummaterialverschmutzung gewährleistet. Darüber hinaus ist seine automatische Servomaschine mit einer drahtlosen Fernbedienung ausgestattet, mit der Benutzer den Prozess aus sicherer Entfernung anpassen und feinjustieren können. Darüber hinaus ist die Heizungskette speziell für die Arbeit mit einem optimierten PID-Steueralgorithmus ausgelegt, der eine gleichmäßige Heiztemperatur über die gesamte Kammer gewährleistet. Zusätzlich ist der H-LP Diffusionsofen mit verschiedenen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet. Seine Anti-Kipp-Struktur sorgt dafür, dass das Werkzeug stabil bleibt und während der Bearbeitung nicht vibriert oder verschoben wird. Es verfügt auch über eine fortschrittliche 24-Stunden-Sicherheitsüberwachung, die den Zustand der Ausrüstung und Alarmbetreiber im Falle von Problemen verfolgt. Darüber hinaus sorgen die selbstfüllenden Kühlmitteleinrichtungen dafür, dass das notwendige Kühlmittel in kritischen Zeiten zugeführt wird, um zu verhindern, dass der Ofen hohe Temperaturen erreicht, die zu einer Überhitzung führen könnten. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON H-LP Diffusionsofen eine ausgezeichnete Wahl für eine präzise thermische Verarbeitung in Reinraumumgebungen. Diese vielseitige Maschine bietet eine Reihe von Funktionen, um die Genauigkeit und Effizienz zu maximieren und gleichzeitig die Sicherheit zu erhöhen. Sein einzigartiges Design, kombiniert mit bequemem Zubehör, machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug für verschiedene mikroelektronische Produktionsprozesse.
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