Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-LVPCKNR #9381856 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 9381856
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Furnace, 12"
Process: MID-SiN(LT-SiN)
Heater type: Mid-temperature VCM-50-012L
Gases: N2, P-N2, NH3, SiH2CI2, HF, 20% F2/N2
Hard Disk Drive (HDD)
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-LVPCKNR ist ein Diffusionsofen und Zubehör für die Präzisionsherstellung von mikroelektronischen Geräten. Dieses fortschrittliche System ist mit mehrschichtigen kristallinen Filmen, thermisch stabilem Prozess und einem hohen Grad an Kontrolle über Temperatur und Strömung, die Mikroherstellung ermöglichen, entwickelt. Diese Einheit eignet sich für verschiedene Verfahren zur Herstellung neuer Materialien oder Strukturen. TEL Indy-I-LVPCKNR verfügt über mehrere Komponenten, darunter einen Tiegel zum Halten des zu verarbeitenden Materials, eine Heizung, einen Durchflussmesser, eine Gasquelle, eine Vakuummaschine und ein Abgaswerkzeug. Der Tiegel wird aus einem hochwertigen Edelstahl gefräst und hat eine Platinlegierung Auskleidung mit einer eingebauten HF-Heizung. Der Tiegel ist für eine extrem stabile Temperatur während des gesamten Prozesses ausgelegt und ermöglicht die präzise Regelung von Temperatur und Raum für Materialprozesse. Die eingebaute HF-Heizung ermöglicht schnellere Heizzyklen, die einen größeren Durchsatz erzeugen. Mit der Heizung wird die gewünschte Temperatur erreicht, typischerweise zwischen 850 und 800 Celsius. Die Heizung besteht aus einer Hochtemperaturlegierung und verfügt über eine einstellbare Kühlvorrichtung, um die gewünschte Temperatur aufrechtzuerhalten. Die Gasquelle und der Durchflussmesser ermöglichen je nach Anwendung die Einführung einer Vielzahl von Gasen zur Verarbeitung. Beispielsweise kann Stickstoffgas für Oxidations- und Glühprozesse bei der Gasbildung forDeposition1ing Materialien verwendet werden. Das Vakuummodell trägt dazu bei, dass Kammer und Materialien während des Prozesses frei von Verunreinigungen bleiben. TOKYO ELECTRON Indy-I-LVPCKNR verfügt auch über mehrere Sicherheitsmerkmale, wie einen Niedertemperatursensor, einen Druckschalter zur Erkennung von Überdruck in der Kammer und einen Stromausfallindikator. Diese Sicherheitsmerkmale tragen dazu bei, die Sicherheit und Zuverlässigkeit der Ausrüstung während des Gebrauchs zu gewährleisten. Die Abgasanlage sammelt und leitet Verunreinigungen ab, evakuiert aber auch die Kammer beim Abkühlen. Indy-I-LVPCKNR wurde für maximale Effizienz und Genauigkeit konzipiert. Es ermöglicht schnellere Produktionszyklen und höhere Ausbeuten aufgrund der Genauigkeit der Prozessparameter, die aufgrund der Konstruktion und der Sicherheitsmerkmale des Geräts unter Kontrolle gehalten werden. Mit ihren mehrschichtigen kristallinen Folien, dem thermisch stabilen Prozess und der präzisen Steuerung ist diese Maschine eine gute Wahl für die präzise Herstellung von mikroelektronischen Geräten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor