Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381811 zu verkaufen
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ID: 9381811
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
Furnace, 12"
Process: HFSiOX
Rapid cooling unit
Pump box
VMM-56-201 Heater
FUJIKIN Air valve
MFC, MFM: AERA
MAIN / APC: CKD
Load lock system
GFC Display
Load port: Side FFU
FIMS Port
Heater type:
VMM-56-201 Low temp
(4) Zones: 150°C~600°C
Furnace subsystem:
Automation system
Heater
Process chamber
Temperature controller
Scavenger
Cooling water unit
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Gas:
PN2
N2
Ar
O3
3-DMASi (Liquid)
H2O and TDMAH (Source tank)
Missing Parts:
QUARTZ Wares
(2) Hard Disk Drives (HDD)
Power supply: 3 Phase, AC 480 V, Single phase, AC 120 V
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI ist ein Diffusionsofen und ein dazugehöriges Zubehör. Dieser Ofen wurde entwickelt, um eine fortschrittliche Verarbeitung von Halbleiterbauelementen für eine Vielzahl von Anwendungen bereitzustellen. TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI ist ein hochtemperatur-, hochreiner, horizontaler Diffusionsofen. Der Ofen kann Temperaturen bis zu 1.730 Grad Celsius erreichen. Es ist mit einem Drei-Zonen-Design gebaut, um eine gleichmäßige Temperatur während des Diffusionsprozesses zu gewährleisten. Der Ofen verwendet eine unabhängige Quelle von Inertgas, um eine saubere und sichere Umgebung für das Gerät während der Verarbeitung zu gewährleisten. Das dazugehörige Zubehör ist so konzipiert, dass es eine komplette Diffusionsverarbeitungslösung liefert. Das Zubehör schließt eine Elektronzyklotronklangfülleplasmaquelle, ein TCA (thermoelektrischer kühl werdender Zusammenbau), ein Autosampler ein, um Oblaten, einen loadport mit der automatisierten Oblatenübertragungsausrüstung und ein Hochvakuumsystem zu laden. TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI enthält mehrere Funktionen, um die Effizienz des Diffusionsprozesses zu maximieren. Der Ofen verfügt über Auto-Tune-Funktionen zur Minimierung der Rüstzeit, eine Überwachungseinheit zur Überwachung von Prozessparametern und eine leistungsstarke Datenerfassungsmaschine mit grafischer Benutzeroberfläche. Indy Plus-B-MVCKNRRTXI ist ein zuverlässiges, sicheres und einfach zu bedienendes Werkzeug für eine Vielzahl von Prozessanforderungen. Seine wichtigsten Funktionen machen es zu einer großen Wahl für erweiterte Geräteverarbeitung. Der Ofen und das Zubehör sind zuverlässig und wartungsarm und bieten eine lange Lebensdauer. Dieses verschmolzene Siliciumdioxid-Prozessrohr bietet eine hervorragende Wärmedämmung, um konstante und gleichmäßige Temperaturen während des Diffusionsprozesses zu gewährleisten. Dieses leistungsstarke Diffusionsofen- und Zubehörset bietet Anwendern eine umfassende Lösung für erweiterte Gerätebearbeitungsanwendungen. TELEFON / ELEKTRON VON TOKIO Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI wird entworfen, um die strengsten Nachfragen der Halbleitergerätverarbeitungsindustrie zu befriedigen.
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