Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381820 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI ist ein Diffusionsofen, der mit Zubehörkomponenten ausgestattet ist, wodurch er hocheffizient und zuverlässig in seinen Aufgaben zur Bereitstellung einer professionellen thermischen Verarbeitungsumgebung ist. Dieses System kann eine breite Palette von geeignet bewerteten Materialien einschließlich Wafern für verschiedene Arten von elektronischen und integrierten Schaltungsanwendungen handhaben. Die Vorrichtung besteht aus einer Vakuumkammer, in der der Prozess stattfindet, sowie Durchführungen, Temperatursensoren, Klimakomponenten und Steuerungen. Der Indy Plus-B ist ein vertikaler Diffusionsofen mit einer Temperatur zwischen 500 und 1250 ° C und einem maximalen Betriebsdruck von 0,5 bis 10 Torr. Die Flash-to-Flash-Zykluszeit der Einheit beträgt 15 Sekunden und die Pumpzykluszeit weniger als eine Stunde. Dies ermöglicht einen kontinuierlichen Strömungsprozess trotz Höhenänderungen von Drücken oder Temperaturen. Die Kammer hat einen Durchmesser von 315mm mit einer Höhe von 1100mm, und ihre maximale Waferbelastung beträgt 6 ". Es ist in der Lage, verschiedene Arten von Oxidations-, Nitridations-, Glüh- und Diffusionsprozessen bereitzustellen. Darüber hinaus umfasst das Gerät eine Oxid-Maske, einen Duschkopf und eine 18-Liter-Temperaturregelung für die Gleichmäßigkeit der Verarbeitungstemperaturen. Das Gerät verfügt auch über einen „Pulsed Digital Annealing“ Prozess des Abwechselns zwischen niedrigen und hohen Temperaturen mit jedem Zyklus ermöglicht eine schnellere Temperaturänderung und eine stabile thermische Umgebung. Dies ist auf die Verwendung eines externen Heizelements, die Direktwärmetechnik der Diffusionskammer sowie die einheitliche Temperaturregelung zurückzuführen. In dieser Einstellung werden die Tief- und Hochtemperaturperioden automatisch abgewechselt, was zu schnelleren Prozesszyklen führt als ähnliche Modelle. Das Gerät ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet. Dazu gehören automatische Bodensperre, Übertemperaturabschaltung und Gasflussunterbrechung Auto-Abschaltung, die Sicherheit durch eine Reihe von Parametern gewährleistet. Das Gerät enthält außerdem ein doppeltes Drehvakuumventil für einen besseren Wirkungsgrad beim Be- und Entladen von Wafern sowie eine Warmwandkeramikkammer für eine verbesserte Haltbarkeit. TEL Indy Plus-B-MVCKNRRTXI ist ein hocheffizienter und zuverlässiger industrialisierter Diffusionsofen, der mit langlebigen Komponenten, Sicherheitsmerkmalen und anpassungsfähigen Temperaturregelungsmöglichkeiten ausgestattet ist. Es ist ideal für eine Vielzahl von Prozessen wie Oxidation, Nitridation, Glühen und Diffusion und hält bis zu 6 "Wafer in seiner Kammer. Mit seinem fortschrittlichen Design und einer 15 Sekunden Flash-to-Flash-Zykluszeit ist dieser Diffusionsofen eine ausgezeichnete Wahl für moderne elektronische und integrierte Schaltungsanwendungen.