Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381823 zu verkaufen
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ID: 9381823
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
Furnace, 12"
Process: HFSiOX
Type: LPCVD
Rapid cooling unit
Pump box
Power box
VMM-56-201 Heater
FUJIKIN Air valve
MFC, MFM: AERA
MAIN / APC: CKD
Load lock system
GFC Display
Load port: Side FFU
FIMS Port
Wafer transfer
(2) Boat systems KAWASAKI
Heater type:
VMM-56-201 Low temp
(4) Zones: 150°C~600°C
Furnace subsystem:
Automation system
Heater
Process chamber
Temperature controller
Scavenger
Cooling water unit
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Gas:
N2
Ar
O3
3-DMASi (Liquid)
H2O and TDMAH (Source tank)
Missing parts:
(2) Hard Disk Drives (HDD)
QUARTZ Wares
Manifold accessory
Power supply: 3 Phase, AC 480 V, Single phase, AC 120 V
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI ist ein Diffusionsofen und Zubehör für eine effiziente Halbleiterbauelementherstellung. Diese Vorrichtung dient zur Abscheidung von Dotierstoffen in den epitaktischen Schichten während der IC-Verarbeitung. Es hat eine vertikale Struktur, um maximale Temperaturgleichförmigkeit zu ermöglichen, sowie einen integrierten Abgaskrümmer, um Verschmutzungen zu reduzieren. Das Gerät umfasst einen programmierbaren Mikroprozessor und ein aktives Interlock-System, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. TEL Indy Plus-B-MVCKNRRTXI ist mit branchenüblichen Funktionen ausgestattet, die die Einheit ideal für eine effiziente epitaktische Schichtfertigung im Halbleiterherstellungsprozess machen. Es verfügt über eine programmierbare Temperatur/Zeit-Steuerung mit neuen optimierten Algorithmen für maximale Präzision und Genauigkeit. Der Temperaturbereich der Maschine wurde um einen Mehrzonenregler erweitert. Das Werkzeug sorgt auch für einen einstellbaren Prozessdruck, um das Wachstum der Epitaxieschicht zu optimieren. TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI Diffusionsofen verfügt über eine Auto-Präfix Gas Lieferung Asset, die automatisch fügt Marge Dosierung konstante Quelle Gaskonzentrationen zu halten. Sein automatisiertes Spülmodell entfernt unerwünschtes Gas vor dem nächsten Lauf, um sehr wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus können die Echtzeit-Gasüberwachungs- und -Analysegeräte mehrere Gase auf präzise Rückkopplung und Kontrolle überwachen. Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI bietet eine präzise Prozessüberwachung und -steuerung durch eine intuitive Benutzeroberfläche, Prozessdaten-Feedback und Anpassungsfunktionen. Das umfassende Datenerfassungssystem ermöglicht die vollständige Rückverfolgbarkeit und den sofortigen Zugriff auf Daten. Die Funktionen zur Batch-Protokollierung und -Integration bieten eine effiziente Datenverwaltung und Rückruffunktionen. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI ist so konzipiert, dass es mit einer Vielzahl von Erweiterungskarten und Upgrades kompatibel ist, was eine persönliche Anpassung und zukünftige Erweiterung ermöglicht. Dieses Gerät erfüllt auch alle Industriestandards für Sicherheit und verfügt über eine einstellbare Prozesssteuerungsmaschine mit eingebauten Lecksuchsensoren. Mit seinem effizienten Design, der hohen Betriebsleistung und den Sicherheitsmerkmalen ist TEL Indy Plus-B-MVCKNRRTXI eine zuverlässige Wahl für die Herstellung von Halbleiter- und Epitaxieschichten.
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