Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381827 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI ist ein vertikal platzierter Diffusionsofen mit Zubehör. Mit diesem Ofen können hochreine Halbleitermaterialien erzeugt werden. Es wird in der Halbleiterherstellung, insbesondere für Schichtverbundhalbleiter eingesetzt. Es verfügt über eine Waferkassette mit großer Kapazität, Hochtemperaturbetrieb und eine präzise Temperatur- und Druckregelung. Das Gerät umfasst eine Hauptkammer, Mehrzonenregler, Abgasanlage und eine Reihe von Zubehör. Die Hauptkammer umfasst eine Heizzone, eine Kühlzone und eine Beobachtungsöffnung. Die Heizzone kann bis zu 150 Wafer gleichzeitig aufnehmen, mit einer automatischen Ladeeinheit zum einfachen Be- und Entladen. Die Heizzone sorgt auch für ein schnelles thermisches Stickstoffglühen, mit dem kristalline Strukturen in Halbleitermaterialien erzeugt werden. Die Kühlzone weist eine Anordnung von Kühlkanälen zur gleichmäßigen Kühlung der Wafer auf. Der Mehrzonenregler kann Temperatur, Druck und Durchflussrate in jeder Zone genau einstellen. Es ermöglicht dem Benutzer auch, die Atmosphäre innerhalb des Ofens zu steuern, einschließlich Prozessgase, Kammervakuum und Abschreckgas. Darüber hinaus verfügt der Controller über programmierbare Rezepte für die benutzerdefinierte Prozesssteuerung. Die Abgasmaschine ist an der Rückseite der Hauptkammer angebracht und bietet automatische Pumpzyklen für eine effiziente Evakuierung und Austausch von Luft. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung des atmosphärischen Drucks im Hohlraum und hilft, das Explosionsrisiko zu reduzieren. Zusätzlich ist das Auspuffwerkzeug mit einem Langzeitfilter und Wäscher ausgestattet, um Verunreinigungen aus den Prozessgasen zu entfernen. TEL Indy Plus-B-MVCKNRRTXI Zubehör umfasst eine Reihe von Quarzware, Thermoelementen, Mehrventil-Ausrüstung und Gaspaneele. Die Quarzware umfasst Quarzboot, Quarzzylinder und Quarzkapseln. Die Thermoelemente werden zur Temperaturmessung verwendet und können kalibriert werden, um eine hohe Genauigkeit zu gewährleisten. Die Mehrventileinrichtung besteht aus mehreren Ventilen zur Steuerung der Atmosphäre innerhalb der Kammer. Und die Gaspaneele verfügen über eine Reihe von manuellen und automatisierten Ventilen für eine präzise Gaszufuhr und -steuerung. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI Diffusionsofen eine leistungsfähige und präzise Bereicherung für die effiziente und präzise Herstellung von hochreinen Halbleitermaterialien. Es ist eine gute Wahl für kleine bis mittlere Halbleiterproduktionsanlagen.