Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381828 zu verkaufen
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ID: 9381828
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
Furnace, 12"
Process: HFSiOX
Type: LPCVD
Rapid cooling unit
Pump box
VMM-56-201 Heater
FUJIKIN Air valve
MFC, MFM: AERA
MAIN / APC: CKD
Load lock system
Display: GFC
(2) Boat systems KAWASAKI
Heater type:
VMM-56-201 Low temp
(4) Zones: 150°C~600°C
Furnace subsystem:
Automation system
Heater
Process chamber
Temperature controller
Scavenger
Cooling water unit
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Gas:
N2
PN2
Ar
O3
3-DMASi (Liquid)
H2O and TDMAH (Source tank)
Missing parts:
QUARTZ Wares
(2) Hard Disk Drives (HDD)
Manifold
Power supply: 3 Phase, AC 480 V, Single phase, AC 120 V
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI ist ein Diffusionsofen zur effizienten Verarbeitung von Halbleitersubstraten. Dieser Ofen ermöglicht es Benutzern, individuelle Diffusionsrezepte für bestimmte Prozesse zu programmieren. Es verfügt über eine bequeme kostengünstige MVCKNRRTXI-Stromversorgung, die bis zu 25 Ampere Leistung liefern kann. Das Gerät bietet zudem einen exakt einstellbaren Temperaturbereich von 325 ° C bis 1050 ° C. Das System ist mit einem empfindlichen thermischen Sensor ausgestattet, um alle temperaturbedingten Prozesse zu überwachen und zu steuern. Die Kammer dient der effektiven Wärmeableitung an die Außenumgebung für einen effizienten Betrieb. TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI ist auch mit fortschrittlicher Ofensteuerungssoftware und erweiterten Prozesssteuerungsfunktionen ausgestattet. Dazu gehören dynamische Programmierung der Kammertemperatur, Rezepturauswahl und -speicherung, automatische Vorkonditionierung, Regelung der Temperatur im geschlossenen Kreislauf und die Möglichkeit, separate und verknüpfte Kanäle zu steuern. Das Gerät verfügt auch über Remote-Selbstdiagnose sowie programmierbare Alarme. TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI ist für Hochtemperatur-Gas- und chemische Dampfabscheidungsprozesse (CVD) konzipiert und bietet eine hervorragende Prozessgleichmäßigkeit und eine hohe Prozesskontrolle. Es wurde entwickelt, um Reaktionsdiffusionsverlust zu reduzieren und die Substrattemperatur gleichmäßig zu erhöhen. Die Prozesskammer weist eine hochpräzise Mehrzonenheizung auf, die dem Anwender eine genaue Kontrolle über die Temperatur des Prozesses ermöglicht. Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI verfügt auch über automatisierte Lastverschlusstüren, die ein schnelles Be- und Entladen der Kammer ermöglichen. Ein Vakuumeindichtungsmechanismus verhindert, dass äußere Verunreinigungen während des Diffusionsprozesses in die Kammer gelangen. Die Kammer ist auch mit Quarz-Wafer-Pods ausgestattet, die so programmiert werden können, dass sie eine präzise Temperaturwechselung und eine präzise Taktung der Gasströme ermöglichen, um gleichmäßige Filmdicken und -dichten auf dem Substrat zu erzeugen. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI enthält auch eine Reihe von Zubehör für den fortschrittlichen Betrieb und Schutz. Es umfasst beladene Kassetten, die eine Einfachbearbeitung ermöglichen, sowie eine Gasverteilmaschine, die sich mit Prozessgasen integrieren kann, wodurch eine gleichmäßige und gleichmäßige Vermischung von Reaktanden in der Kammer gewährleistet ist. Zusätzlich ist das Werkzeug mit einem mechanischen Sicherheitsabsperrventil und einem fingersicheren Spülmechanismus zum Schutz vor unbeabsichtigter Freisetzung von Prozessgasen während des Betriebs ausgestattet. TEL Indy Plus-B-MVCKNRRTXI Diffusionsofen ist eine einfach zu bedienende, zuverlässige und kostengünstige Anlage, die in der Lage ist, einheitliche und konsistente Ergebnisse für eine Vielzahl von Prozessen zu erzielen. Die Kombination aus Features und Zubehör sowie sein fortschrittliches Steuerungsmodell machen es zu einer idealen Wahl für alle Diffusions- und Abscheideprozesse.
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