Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381830 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 9381830
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Furnace, 12"
Process: HfSiOx
Heater type:
VMM-56-201 Low temp
(4) Zones: 150°C~600°C
Gas:
N2
Ar
O3
3-DMASi (Liquid)
H2O and TDMAH (Source tank)
(2) Boat systems KAWASAKI
Hard Disk Drive (HDD)
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI ist ein Diffusionsofen der nächsten Stufe, der die neuesten Entwicklungen in der Substrathandhabungs- und Verarbeitungstechnologie berücksichtigt. Es bietet sowohl Prozesswiederholbarkeit als auch Ausbeute Verbesserung für die höchste Qualität der Geräteleistung. Mit seiner fortschrittlichen Technologie ist TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu verarbeiten, darunter Metalle, Keramik, Halbleiter und Verbundwerkstoffe. TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI ist mit zwei erweiterten Öfen ausgestattet, die sowohl vertikale als auch horizontale Konvektion verwenden. Der Vertikalofen wird von einem mehrachsigen System angetrieben, das eigenständig angetriebene Förderrollen und Drehantriebe nutzt, um den Wafer auf eine optimale Diffusionstemperatur zu bewegen. Der waagerechte Ofen zieht den Wafer von beiden Enden in die beheizte Kammer und ermöglicht eine präzise Steuerung von Strahlung und Konvektionsheizung. Indy Plus-B-MVCKNRRTXI Ofen kommt Standard mit einem modernen Peltier Kühlsystem. Dieses verfügt über ein fortschrittliches Bildverarbeitungssystem, das den Sondenstrom für eine gleichmäßige Temperatur über den gesamten Wafer reguliert. Mit einer Mehrpunkt-Temperatursonde ermöglicht TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI Messungen höchster Präzision über den gesamten Wafer und kann mit bis zu 4 unabhängigen Temperaturzonen betrieben werden. Der Ofen kann auch so programmiert werden, dass Prozesse auf ein vorgegebenes Temperaturprofil durchgeführt werden. Darüber hinaus kommt TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI auch mit aktiver Temperaturregelungssoftware, die es Anwendern ermöglicht, ihre eigenen Heiz- und Kühlkurven zu definieren. Diese Software ist mit einem selbstlernenden Algorithmus ausgestattet, um die Datengenauigkeit und Wiederholbarkeit ständig zu verbessern. Die Software unterstützt auch die automatische Fehlerbehandlung des Ofens, sodass Ingenieure Prozessfehler schnell anpassen oder beheben können. TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI wird auch durch eine Reihe von fortschrittlichen Zubehör ergänzt. Dazu gehört ein Auto-Capture-Schacht, der eine einfache Probenhandhabung und automatisierte Prozessrezepte für eine schnelle Einrichtung ermöglicht. Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI verfügt auch über programmierbare Prozessparameter wie Druck, Temperatur und Geschwindigkeit für gezielte Spitzenleistung. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI ist der Höhepunkt von Diffusionsöfen. Mit seinen automatisierten Steuerungen und der Präzisionselektronik bietet es zuverlässige Leistung und präzise Messungen und ist gleichzeitig einfach einzurichten und zu bedienen. Mit seinem umfassenden Zubehör kann es verwendet werden, um eine breite Palette von Projekten zu bewältigen, so dass es eine lohnende Investition für Hersteller, die überlegene Effizienz und Qualität schätzen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor