Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 / Alpha 8S/8SE #293658183 zu verkaufen

TEL IW-6/Alpha 8S/8SE ist ein Diffusionsofen und seine peripheren Komponenten. Es wird hauptsächlich in der Elektronikindustrie für Anwendungen wie Halbleitergeräteherstellung, Photovoltaik und Optoelektronik eingesetzt. Es wurde entwickelt, um Substrate in einer kontrollierten Umgebung mit Gleichstrom (DC) oder Hochfrequenz (RF) -Plasmaquellen abzuscheiden, zu glühen, zu oxidieren oder zu ätzen. Die IW-6/Alpha- 8S/8SE besteht aus der Hauptkammer, dem Regler, der Stützeinrichtung, der Stromquelle und einer Kammerdruckregeleinrichtung. Die Hauptkammer besteht aus Edelstahllegierungen und ist so konzipiert, dass sie hohen Temperatur- und Gasströmungsdrücken standhält. Es verfügt über einen einfach zu bedienenden Touchscreen-Controller, der eine einfache Bedienung und Einstellung von Parametern wie Druck, Temperatur und Gasströmen für verschiedene Anwendungen ermöglicht. Der Temperaturbereich liegt zwischen Raumtemperatur und 1.200 ° C bei einer bearbeitbaren Fläche von 177 mm und einer maximalen Substratgröße von 350 x 250 mm. Ein weiteres Merkmal dieses Ofens ist die Einbindung von Prozessatmosphäre Konditionierung & Luft Duschsystem. Dazu gehört ein Ventilsatz, der die Atmosphäre in der Hauptkammer während verschiedener Bearbeitungsstufen wählt und steuert. Es verfügt auch über eine ultrahochreine Ar-Quelle, die verwendet wird, um die Kammer von inerten Gasen zu spülen und eine saubere Prozessumgebung zu erhalten. Zusätzlich ist die IW-6/Alpha 8S/8SE mit einer HF-Plasmaquelle für Ätz- und Saatanwendungen ausgestattet. Die Kammerdrucksteuereinheit besteht aus einem automatisierten Messgerät und einem Massendurchflussregler, die zur genauen Messung und Regelung des Druckbereichs in der Hauptkammer dienen. Zusätzlich ist innerhalb der Hauptkammer eine Augenmarkierungsmaschine installiert, die sicherstellt, dass die Substrate vor der Verarbeitung richtig positioniert werden. Die IW-6/Alpha 8S/8SE ist ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug für verschiedene Anwendungen in der Elektronikindustrie. Es verfügt über eine Reihe von Sicherheits- und Prozesskontrollfunktionen, die sicherstellen, dass es seine optimale Leistung erreicht. Darüber hinaus ist es CE-zertifiziert und TÜV-zertifiziert, so dass Benutzer sicher sein können, dass ihre Anwendungen ohne Probleme ausgeführt werden. Dieses Werkzeug ist auch sehr vielseitig, in der Lage, eine Vielzahl von Prozessen wie Abscheidung, Glühen, Oxidation und Ätzen durchführen. Es ist einfach zu installieren und zu bedienen und ermöglicht schnelle Umlaufzeiten für Benutzer, ohne auf komplexe technische Installationen warten zu müssen. Damit ist TOKYO ELECTRON IW-6/Alpha 8S/8SE eine ausgezeichnete Option für Anwender, die einen Hochleistungs-Diffusionsofen und periphere Komponenten suchen. Dieses Tool bietet eine Reihe von Funktionen und Sicherheitskontrollen und ist damit ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug für verschiedene Anwendungen der Elektronikindustrie.