Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 #9226342 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON IW-6
ID: 9226342
Wafergröße: 5"
Weinlese: 1994
Furnace, 5" 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON IW-6 ist ein Diffusionsofen und Zubehör für die Verarbeitung von Halbleiterscheiben. Der Diffusionsofen verfügt über eine sekundäre Zonenkonstruktion, die eine verbesserte thermische Gleichmäßigkeit und geringe thermische Gradienten ermöglicht. Es verfügt über eine angeschlossene Gasplatte mit sechs Einlässen zur Steuerung des Gasstroms während des Diffusionsprozesses. Darüber hinaus verfügt der Ofen über einen temperaturgeregelten Leitungswechsler und ein optionales automatisches Lastschloss. Zur Erzielung eines gleichmäßigen Temperaturprofils werden zwei Doppelelementheizungen und eine Heizkammer mit niedrigem thermischen Gradienten verwendet. Das quaternäre Heizsystem soll den thermischen Gradienten reduzieren und ist mit einer maximalen Temperatur von 1350 ° C ausgestattet. Es ist auch mit einer Kühleinheit zur schnellen Kühlung bei Bedarf ausgestattet. Der Diffusionsofen wird von einem MOSFET-basierten Rampenmodul angetrieben und über eine einfach zu bedienende Bedienoberfläche gesteuert. Der Ofen umfasst eine hochpräzise Datenerfassungsmaschine, mit der der Fortschritt des Diffusionsprozesses gemessen werden kann. Die erfassten Daten können als Referenz gespeichert und zur kontinuierlichen Verbesserung verwendet werden. Sicherheitsmerkmale wie ein verzögerter Heizungsstart und eine automatisierte Sicherheitsabschaltung sind enthalten, um Überhitzungen oder übermäßige Temperaturen zu vermeiden. Das Tool verfügt über eine moderne Steuerung mit Ferndiagnosefähigkeit. Es ist auch mit einem ausfallsicheren Schutzmodell ausgestattet, das bei einem Prozessausfall aktiviert wird. TEL IW-6 Diffusionsofen ist ein zuverlässiges Hochleistungsgerät zur Durchführung von Halbleiterdiffusion. Es ist ein Werkzeug der Wahl für viele Halbleiterherstellungseinrichtungen. Seine Temperaturregelung, Sicherheitsfunktionen und Datenerfassungsfunktionen machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für die Verarbeitung elektronischer Komponenten.
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