Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #195915 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen und Zubehör, der speziell für hochpräzise plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD) entwickelt wurde. TEL IW-6D besteht aus einer spezialisierten Edelstahl-Vakuumkammer und einer leistungsstarken Plasmaquelle mit flexibel konfigurierbaren Kathoden- und Gasfördersystemen. TOKYO ELECTRON IW-6D verfügt über einen 2,6-Zoll-Durchmesser von 12,5 Zoll langen einkristallinen Quarzrohr Vakuumkammer. Die Rohrkammer besteht aus zwei halbzylindrischen entlüfteten Titangehäusen und zwei Flanschen mit jeweils vier mit O-Ringen abgedichteten Dübelstiften. Das Quarzrohr ist elektrisch leitfähig und mit reinem Aluminium beschichtet, um Lichtbogen entlang der Rohrwände zu verhindern. Zusätzlich ist das Rohr von einer Doppelschicht aus Aluminiumblöcken umgeben und enthält eingebettete Heizungen zur gleichmäßigen thermischen Zyklusoptimierung. IW-6D beherbergt eine Standard-HF-Stromquelle mit manuell einstellbarem Modus, so dass der Benutzer die Einstellungen genau auf die gewünschte Plasmabearbeitung anpassen kann. Das Gerät liefert insgesamt 30 Kilowatt Leistung für die Plasmabildung und drei Sätze von 18,6 kW für die PID-Temperaturregelung während der PECVD-Verarbeitung. Weitere Merkmale der Stromquelle sind eine TEL-GENLOW III Stromversorgungsplatine, eine Tragstangenstruktur, eine geschlossene Brennerelektrode und eine aktive Wasserstoffalarmeinrichtung. TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D Gasfördersystem besteht aus einem 4-Wege-Gaskrümmer und fünf Gasströmungsreglern, so dass der Benutzer eine breite Palette von Gasen in die Plasmabearbeitung platzieren kann. Der Verteiler hat eine Gesamtkapazität von 300 Litern/min und kann den Durchfluss zwischen 0 und 300 sccm genau regeln. Diese Einheit unterstützt die Abgabe von vier keramischen Prozessgasen für den Einsatz in plasmaverbesserten Abscheidungsprozessen. Darüber hinaus bietet TEL IW-6D die Möglichkeit zur Integration mit einer Reihe fortschrittlicher Zubehörteile für unterstützte Prozessanwendungen. Zu den High-End-Optionen gehören ein spezieller Gaskühler, eine automatische Gasmischmaschine, ein kryogenes Kühlwerkzeug, ein In-situ-Molekülreaktant und ein automatisches Spülmodell. Benutzer haben auch die Möglichkeit, TOKYO ELECTRON IW-6D mit einer Desktop-Fernbedienungskonsole zu konfigurieren, so dass es aus sicherer Entfernung gesteuert werden kann. Dieser fortgeschrittene Hochleistungspräzisionsverbreitungsbrennofen und Hilfsmittel erweisen sich zuverlässig, robust und benutzerfreundlich, es ideal für Zweckforschungslaboratorien machend. IW-6D bietet eine direkte Kontrolle aller wichtigen Plasmabearbeitungsparameter in einer Einheit, so dass sie eine breite Palette von Anwendungen abdecken kann, einschließlich CVD, PECVD, Ätzen, Abscheidung und mehr. Mit der zusätzlichen Möglichkeit, TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D mit einer Reihe von fortschrittlichen Zubehör anzupassen, ist es kein Wunder, dass dieses Produkt sehr begehrt ist.