Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293798918 zu verkaufen
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ID: 293798918
Weinlese: 2000
Diffusion furnace
Process: Oxide
Gases: H2, O2, HCL
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D ist ein Diffusionsofen und Zubehör für hohe Produktivität und Ausrüstung. Es wurde speziell für große Produktionsmengen in der heutigen Halbleiterindustrie entwickelt. Der Ofen ist mit einem Aluminiumoxidherd mit einer Kapazität von bis zu 6 "Wafern ausgestattet. Es ist mit einem Temperaturregelsensor zur präzisen Überwachung und Steuerung der Heizung und anderer Parameter ausgestattet. TEL IW-6D ist in der Lage, 720 ° C Temperatur zur Verfügung zu stellen, die mit hochwertigen, Hochgeschwindigkeitsheizelementen schnell erreicht werden kann. Die Stabilität und Wiederholbarkeit des Verfahrens wird durch einen fortschrittlichen Mikroprozessorregler erhöht, der eine optimale Durchführung des Herstellungsprozesses gewährleistet. Der Ofen besitzt In-Tube-Druckausgleichsmöglichkeiten sowie die Programmierbarkeit für wiederholbare Produktionen wie Epitaxie. Die Wanne ist an einer angetriebenen Aufzugsausrüstung befestigt, um die Wafer einfach zu extrahieren und auszutauschen. Dies geschieht durch einen Vakuumbalg, der aus einer Aluminiumlegierung besteht und so ausgelegt ist, dass ein konstanter Druck entlang des Absaugweges gewährleistet ist. Das automatisierte Filteralarmsystem benachrichtigt den Benutzer, wenn der Filter seine Vakuumgrenze erreicht hat. Das computergesteuerte Frontend des Geräts umfasst Touchscreen-Schnittstelle und Siemens SPS-Steuerung. Dadurch kann der Anwender relevante Daten eingeben und Parameter wie Gasabgas, Gasstrom oder Lastdruck einstellen. Alle diese Funktionen sind mit dem Monitor integriert, sodass der Benutzer den Status der Maschine aus der Ferne überprüfen kann. Das Fernüberwachungs- und Steuerungstool ermöglicht es dem Benutzer, extern auf die Steuerparameter, Alarme und Protokolle des Elements zuzugreifen. Dies ist eine vorteilhafte Funktion, die nicht nur Ausfallzeiten reduziert, sondern auch dafür sorgt, dass der Betrieb sicher und effektiv ist. Das Modell ist auch mit einer I/O-Signalschnittstelle ausgestattet, die die Kommunikation mit anderen Geräten erleichtert. Verschiedene Arten von Alarmen und Warnungen können bei Bedarf vom programmierbaren Controller aufgerufen werden. TOKYO ELECTRON IW-6D ist ein zuverlässiges und hocheffizientes Werkzeug für die Verarbeitung auf hohem Niveau. Mit seinen großartigen Eigenschaften kann es Produktionspersonal helfen, Betriebskosten zu senken und den Produktionsertrag zu steigern. Darüber hinaus kann es mit seiner verlängerten Lebensdauer bei ordnungsgemäßer Wartung über viele Jahre verwendet werden.
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