Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293798920 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D ist ein Diffusionsofen und zugehöriges Zubehör für die integrierte Herstellung von fortschrittlichen Halbleiterbauelementen. Die Grundausstattung besteht aus einem Diffusionsofen und einem Steuerschrank, die die Flexibilität für eine breite Palette von fortschrittlichen Produktionsanforderungen bieten. Der Diffusionsofen ist mit einem Werkstücktransferroboter ausgestattet, der eine gleichzeitige Übertragung und Bearbeitung mehrerer Wafer ermöglicht. Es unterstützt eine Vielzahl von ein- und mehrstufigen Prozessrezepten und ermöglicht die Herstellung einer breiten Palette von mikroelektronischen Geräten über mehrere Schritte. Die Werkstückkammer umfasst einen Warmwandbereich und einen Kaltwandbereich, unabhängig von der Werkstücktemperatur, und ist so ausgelegt, dass eine saubere, gleichmäßige Temperaturverteilung in der gesamten Kammer für eine optimale Prozessleistung gewährleistet ist. Die intelligente Robotik des Systems ermöglicht eine schnelle Waferübertragung und eine vollständige automatisierte Prozessablaufsteuerung. TEL IW-6D ist mit der neuesten computergestützten Steuereinheit zur Prozessoptimierung und Gleichmäßigkeit ausgestattet. Es enthält einen Speicher für voreingestellte Programme sowie eine Vielzahl von Sensoren, Alarmen, Abschaltschaltern und ausfallsicheren Mechanismen für eine hohe Betriebssicherheit. Zusätzlich ist der Ofen mit einem Gasströmungsmischer, einer Vakuummaschine und einem Luftkühlwerkzeug ausgestattet, um eine effektive Verteilung der Gase in der gesamten Prozesskammer zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON IW-6D hat eine maximale Temperatur von 2,000C und wird mit modernsten Metallbautechnologien hergestellt. Es ist vakuumdicht und so aufgebaut, dass es den hohen Temperaturen in Diffusionsprozessen standhält. Die Anlage ist auch mit einem hochzuverlässigen horizontalen Einverschluss-Kühlmodell ausgestattet, das genau gesteuert wird und einen sicheren Stickstoffspülmechanismus enthält, um die Ausrüstung im Notfall schnell abzuschalten. Der Diffusionsofen ist in der Lage, verschiedene Prozessrezepte zu verarbeiten und somit für eine Vielzahl von Diffusionsprozessen geeignet. Die einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche ermöglicht eine hohe Flexibilität bei der Einrichtung der Prozessparameter. Das Steuerungssystem unterstützt auch die Fernbedienung und Datenerfassungsfunktionen, wodurch der Prozess besser kontrolliert und der manuelle Eingriff reduziert wird. IW-6D ist eine fortschrittliche Diffusionsofen und Zubehör-Einheit, die überlegene und präzise Leistung bietet. Es ist eine ideale Wahl für die integrierte Produktion von fortschrittlichen Halbleiterbauelementen.