Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293798922 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das speziell für Hochleistungs-Diffusionsprozesse entwickelt wurde. Die 200mm x 300mm vertikale Heizschnur mit 3 Zonen - vertikal von oben einstellbar - ermöglicht eine gleichmäßige Temperaturregelung auf bis zu 3 Wafern gleichzeitig. Der geringe thermische Gradient über den Ofen ermöglicht eine qualitativ hochwertige Schichtbildung und niedrige sublimierteCl-Raten, und die reduzierten thermischen Emissionseigenschaften von TEL IW-6D einen hohen Waferdurchsatz gewährleisten. TOKYO ELECTRON IW-6D ist mit gemeinsamen Prozesssimulationsfunktionen ausgestattet, einschließlich einstellbarem Gegendruck, Gasreinheit, Gasverteilung, Gasdurchfluss und Gasdruck. Das Gasanalysesystem ist in IW-6D integriert, die sowohl eine Echtzeitanalyse für die Online-Prozessüberprüfung und -anpassung als auch eine Offline-Prozessanalyse nach der Sammlung bieten. Es weist eine einstellbare Gaseinlaßwirbeleinrichtung zur gleichmäßigen Gasverteilung und einen einstellbaren Gegendruckregler zur optimalen Prozesssteuerung auf. Darüber hinaus ist TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D mit einer einstellbaren Rampenrate ausgelegt, die schnelle Temperaturüberprüfungen zwischen Sollpunkten und eine geringe Rate gesteuerte Abschaltung durch die Kühlzone ermöglicht, die Waferabbau durch überschüssige Wärmeeinweichzeit verhindert. Es bietet auch ein gleichmäßiges thermisches Gefälle mit mehreren H-Mode-Heizungen. All diese Funktionen tragen zur hohen Qualität und erstklassigen Leistung von TEL IW-6D bei. TOKYO ELECTRON IW-6D ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Designregeln in seiner Prozesskammer zu reproduzieren und eine vollständige Reproduzierbarkeit kritischer Prozesse zu gewährleisten. Seine automatisierte Prozesssteuerung bietet die Fähigkeit, eine Vielzahl von Konstruktionsregeln in der technischen und wiederholbaren Weise zu reproduzieren, die in der Halbleiterindustrie benötigt wird. Darüber hinaus verfügt IW-6D über einen integrierten Quarz-Viewport und eine Wafer-Ausrichtungstür, mit der der Benutzer die Ausrichtung überprüfen und die Prozessbedingungen überprüfen kann. TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D bietet auch mehrere Prozess- und Werkzeugüberwachungsfunktionen über den Ethernet-Überwachungsservice für sicheren Remote-Service und Kontrolle von der Website des Benutzers. Diese Unterstützung umfasst Diagnose, lokale Anzeige sowie Hardware- und Software-Monitor und -Steuerung. Schließlich kommt TEL IW-6D mit Sicherheitsfunktionen wie Sicherheitsverriegelung und Notabschaltung. Seine Sicherheitsinformationen sind sichtbar und bei Bedarf für einen reibungslosen Betrieb zugänglich. Abschließend ist TOKYO ELECTRON IW-6D ein Diffusionsofen und Zubehör, das für einen hohen Durchsatz, eine qualitativ hochwertige Schichtbildung und wiederholbare Hochleistungsprozesse entwickelt wurde. Es ist mit überlegenen Prozesssimulationsfunktionen, einstellbaren Rampenraten, niedrigem thermischen Gradienten, Gasanalysesystem, automatisierter Prozesssteuerung, integriertem Quarz-Viewport und verschiedenen Sicherheitsmerkmalen für einen zuverlässigen und konsistenten Betrieb ausgestattet. Es ist das ideale Werkzeug für Anwendungen, die eine außergewöhnliche Schichtbildung und höchste Wiederholbarkeit erfordern.