Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #9389914 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D
ID: 9389914
Wafergröße: 5"
Weinlese: 1997
Diffusion furnace, 5" 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D ist ein hochmoderner Diffusionsofen und Zubehör für die Halbleiterprozesstechnik. TEL IW-6D ist ein Ofen zur Diffusion von Dotierstoffen in Wafer im thermischen Oxidationsverfahren. Dieses Verfahren verbessert die elektrischen Eigenschaften von Halbleiterbauelementen und erhöht auch deren Eignung für eine hohe und ultra-hohe Integration. TOKYO ELECTRON IW-6D verfügt über eine isotopische Wasserstoffumgebung, die von einem intelligenten PID-Controller gesteuert wird und eine optimierte Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit ermöglicht. Der Ofen ist zudem mit einer schnellen Abkühltechnik ausgestattet, die es ermöglicht, Prozesse innerhalb weniger Minuten abzuschließen. Darüber hinaus ist IW-6D modular aufgebaut, so dass es einfach für verschiedene Prozesse wie CMP (Chemical Mechanical Planarization) konfiguriert werden kann. TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D ist mit mehreren Schlüsselzubehörteilen ausgestattet, um sicherzustellen, dass der Diffusionsprozess so genau und sicher wie möglich durchgeführt wird. Zum Absperren der Diffusionskammer beim Abkühlen oder Spülen ist ein automatisches Absperrventil vorgesehen. Der Ofen wird auch mit einem Quarztiegel zum sicheren Transport der Wafer in die Kammer und einer Keramikpumpe geliefert, mit der die Innentemperatur der Kammer aufrechterhalten werden kann. Dieses Gerät ist ferner mit Sicherheitsmerkmalen wie einer Stickstoffgasspülung ausgestattet, die langfristige Prozesse vor Kontamination schützen soll. Zusätzlich ist TEL IW-6D mit einem integrierten Notabschalter für zusätzliche Sicherheit sowie einem externen Wasserversorgungs-/Ablaufanschluss zur Abkühlung des Ofens nach der Diffusion ausgestattet. TOKYO ELECTRON IW-6D ist ein wesentliches Bauelement zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Seine Eigenschaften gewährleisten präzise und sichere Diffusionsprozesse und sein modularer Aufbau bietet die für eine Vielzahl von Anwendungen erforderliche Flexibilität. Die Edelstahlkonstruktion und die langlebigen Komponenten dieses Geräts machen es zu einem zuverlässigen und effizienten Diffusionsofen.
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