Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON M560A #293597892 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON M560A
ID: 293597892
Furnaces.
TEL/TOKYO ELECTRON M560A ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen und Zubehör für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Diese innovative Ausrüstung ist für hohe Leistung, maximalen Wirkungsgrad und höchste Temperaturgleichmäßigkeit ausgelegt, um genaue Messungen an komplexen Strukturen wie Nanodrähten zu ermöglichen. Sie besteht aus einer Ofenkammer und einem dazugehörigen Zubehörsatz wie Vakuum/Kühlkammer, Quarzplatte, Suszeptor, Waferhalter und Drucksensoren. Die Ofenkammer weist zwei Abschnitte auf. Der obere Abschnitt beherbergt das Heizelement, die Thermoelemente und einen Spiegel, um eine Top-Down-Strahlungsheizung zur Erhöhung der Temperaturgleichförmigkeit bereitzustellen. Der untere Abschnitt besteht aus einem Gaseinlaß, einer Pumpeinheit und Temperatursensoren. Auf diese Weise können die Geräte unabhängige Temperatureinstellungen genau messen und einhalten sowie eine zusätzliche thermische Steuerung in einer abgedichteten Umgebung gewährleisten. Das dazugehörige Zubehör besteht aus Quarz, um eine hohe thermische Stoßfestigkeit und Langzeitstabilität zu gewährleisten. Die Quarzplatte dient als Basis, wo die Proben abgelegt werden, während der Suszeptor die Probe über die Heizzone trägt. Der Waferhalter bietet mit seiner einstellbaren Federspannung eine stabile Plattform für den Wafer. Die Drucksensoren helfen dem System, einen optimalen Druck für eine gleichmäßige Gasverteilung aufrechtzuerhalten. TEL M560A nimmt einen umfassenden Heizmechanismus an, der sowohl Top-Down als auch Bottom-Up-Strahlungsheizung kombiniert. Mit diesem überlegenen Verfahren kann die Einheit eine beispiellose Temperaturgleichmäßigkeit im Prozess bereitstellen, die nur eine einzige Stromversorgungseinstellung erfordert, um die gewünschten Pegel zu halten. Der Diffusionsofen ist auch mit einer eingebauten Luftkühlmaschine ausgestattet, um eine schnelle Abkühlung der Proben nach Fertigstellung zu ermöglichen. In puncto Sicherheit folgt TOKYO ELECTRON M560A strengen Richtlinien, um höchste Sicherheits- und Betriebsstandards zu gewährleisten. Das Werkzeug bietet verschiedene Sicherheitsverriegelungen zum Schutz vor überhöhten Temperaturen sowie Türsteuerungen, um einen unerwarteten Betrieb zu verhindern. Darüber hinaus verhindert eine innovative Wasserkühlung das Modell vor Überhitzung und sorgt für zusätzliche Sicherheit für die Anwender. Insgesamt ist M560A eine fortschrittliche Diffusionsofen und Zubehör Ausrüstung, die außergewöhnliche Temperatur Gleichmäßigkeit und Kontrolle für komplexe Halbleiterbauelement Fertigungsaufgaben bietet. Das System bietet beispiellose Genauigkeit und Zuverlässigkeit mit ausgefeilten Sicherheitsmerkmalen und einer überlegenen Heizeinheit. Diese innovative Ausrüstung ist so konzipiert, dass sie höchste Leistung liefert und den Herstellern höchste Qualität ermöglicht.
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