Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA Nitride #9253033 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA Nitride
ID: 9253033
Vertical LPCVD furnaces.
TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA Nitrid ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das den Anforderungen der elektronischen Geräteherstellung gerecht wird. Der Nitrid-Ofen ist ein spezielles plasmaunterstütztes chemisches Dampfabscheidungswerkzeug (PECVD), das zur Abscheidung von Nitridmaterialien verwendet wird. Es ist in der Lage, drei Wafer gleichzeitig zu verarbeiten und kann Temperaturen von bis zu 1050 ° C erreichen. Der Ofen ist mit einer HL-UT-Bearbeitungskammer ausgestattet, die vertikal oder horizontal verarbeitet werden kann. Es ist auch mit oberen und unteren Gasversorgungskanälen ausgestattet, so dass der Ofen sowohl für Standard- als auch für Hochtemperaturoxidationsprozesse verwendet werden kann. Der Nitridofen ist mit einer intelligenten Logik ausgestattet, die sich selbst überwachen, Fehler erkennen und automatisch abschalten kann, wenn ein Fehler erkannt wird. Es verfügt auch über einen 4-stufigen Betriebsmodus für den Benutzer, so dass er aus einem von drei vorprogrammierten Abscheidemodi je nach den Anforderungen seiner Anwendung auswählen kann. Der Nitrid-Ofen ist mit einer seriellen RS-232-Schnittstelle ausgestattet, mit der er an ein kompatibles Computersystem zur Überwachung und Steuerung von Prozessparametern angeschlossen werden kann. Es hat auch die Fähigkeit, bis zu 24 Rezepte mit einstellbaren Funktionen zu speichern, so dass verschiedene Prozessparameter für verschiedene Prozesse eingestellt werden können. Der Nitrid-Ofen ist mit einer leistungsstarken Quarzlampe ausgestattet, die bis zu 1200mJ pro Puls liefern kann und durch ein Abschirmblech geschützt ist. Die Lampe eignet sich für den Einsatz in verschiedenen Abscheideprozessen, wie chemischer Dampfabscheidung und Sputtern. Es ist auch für viele Jahre konzipiert, mit einer garantierten Lebensdauer von 20.000 Stunden. Der Nitrid-Ofen ist so konzipiert, dass er ein hohes Maß an Sicherheit bietet, sowohl mit einem Gasdetektor als auch mit einem Trennschalter, um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten. Zur schnellen und sicheren Abschaltung des Ofens steht zusätzlich ein Not-Aus-Knopf zur Verfügung. Das Nitrid verfügt auch über ein Kühlsystem, das die Temperatur der Kammer schnell reduziert, so dass es geöffnet und der bearbeitete Wafer nach der Verarbeitung entnommen werden kann. Insgesamt ist TEL TELFORMULA Nitrid ein leistungsfähiger und zuverlässiger Diffusionsofen, der eine perfekte Wahl für die Herstellung elektronischer Geräte ist. Es ist einfach zu bedienen, bietet flexible Kontrolle über Prozessparameter und ist für einen sicheren und zuverlässigen Betrieb ausgelegt.
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