Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M #293595800 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293595800
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2009
Vertical LPCVD furnace, 12"
CIM: SECS-GEM
Process: LTO Oxide
(2) FOUPs
KHI Handler system
Rapid cooling unit
UPS
208 VAC
Gas detection box
2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M ist ein Diffusionsofen und Zubehör von TEL. Dieser Diffusionsofen ist für die Herstellung von Dünnschichtabscheide-, Dotierungs- und Drive-In-Prozessen konzipiert und ist das ultimative Werkzeug für fortschrittliche F&E- und industrielle Dünnschichtprozesse. TEL TELINDY Plus-I-M Diffusionsofen erzeugt mittels induktiver Kopplungstechnik gleichmäßige Temperaturen bis zu beeindruckenden 950 ° C. Dieser Diffusionsofen verfügt auch über eine Quarzglas-Heizkammer, um maximale Sicherheit bei Arbeiten mit extrem hohen Temperaturen zu gewährleisten. Mit einem maximalen Druck von 600 Torr kann TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M Diffusionsofen jede diffusionsgesteuerte Anwendung bewältigen. Dieser Diffusionsofen ist auch mit einem automatischen Steuergerät ausgestattet, das eine genaue und prädiktive Steuerung jedes Prozesses sicher und effizient ermöglicht. TELINDY Plus-I-M umfasst auch eine Vielzahl von Zubehörteilen, darunter eine Gassteuerungseinrichtung, ein Gasphasenreaktantenversorgungssystem, eine Temperaturmeßeinheit und einen Vakuumwechselrichter, die weiter dazu beitragen, eine stabile Verarbeitungsumgebung zu schaffen. Um den Bediener während des Betriebs sicher zu halten, verfügt TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M über eine externe Übertemperatur- und Bodenverriegelungsmaschine, die unerwartete Temperaturerhöhungen oder elektrische Anomalien beseitigt. Es verfügt auch über ein Mehrfachfangdesign, das sowohl Kälte- als auch Heißfallen für eine verbesserte Sammeleffizienz sowie ein überlegenes Sicherheitsniveau bietet. TEL TELINDY Plus-I-M Diffusionsofen ist entworfen, um die höchsten Produktionsanforderungen zur Präzisionskontrolle von feinen Eigenschaften und Temperaturgleichmäßigkeit zu erfüllen. Mit seiner präzise gesteuerten Heizung und Kühlung, kurzen Verarbeitungszeiten und überlegenen Sicherheitsmerkmalen ist dieser Diffusionsofen eine ideale Wahl für diejenigen, die in fortschrittlichen industriellen Dünnschichtprozessen arbeiten.
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