Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS #9226258 zu verkaufen

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS bietet unübertroffene Diffusionsofen & Zubehör Leistung. Dieses Modell ist für fortgeschrittene Halbleiteranwendungen konzipiert und eignet sich ideal für eine Vielzahl von Ultratieftemperaturprozessen. Es ist eine einzige thermische Zone mit einem 4-Zoll-Kassettenkopf mit 25 Positionen und einer 8-Zoll-Quarzheizung ausgestattet. Die thermische Zone ist für die Steuerung und Verwaltung von Temperatur und Gleichmäßigkeit ausgelegt. Darüber hinaus nutzt das System zur Optimierung der Prozesse eine automatisierte Quarzrohrstromregelung. Die Gesamtabmessungen des Ofens betragen 1200 mm (in der Höhe) und 1900 mm (Länge). TEL UL-2604-08-HS verfügt über einen großen Temperaturbereich (bis 1.400 ° C) und eine niedrige Temperaturgleichförmigkeit von ± 2,0 ° C (ausgedrückt als 1𝛅). Die Temperaturregelung erfolgt über einen programmierbaren Logikregler (SPS) mit 5,7 Zoll Farbdisplay. Weitere Merkmale sind die Prozesssteuerung mit einer Wärmeflussberechnung, die In-situ-O2-Steuerung über einen integrierten Analysator und Kommunikationsmöglichkeiten zur Verbindung mit einem Netzwerk von Computern. Das Gerät ist mit fortschrittlichen Konstruktionsmerkmalen ausgestattet, um Temperaturgleichmäßigkeit und Prozesswiederholbarkeit sicherzustellen. Hochpräzise Widerstand Spirale Wärme wickeln Patronen in der Heizung bieten ausgezeichnete Temperatur Gleichmäßigkeit. Ein integrierter Heizlüfter hilft, die Temperaturverteilung über die Halbleiterscheibe zu optimieren. Automatische Luftleitbleche, die an die Heizung angeschlossen sind, sorgen für zusätzliche Temperaturgleichmäßigkeit und konsistente Prozessverteilung. TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS Maschine bietet auch fortschrittliche Sicherheitsfunktionen, um Benutzer und den Prozess zu schützen. Zur Überwachung der Temperatur der Heizkammer dient ein Hochtemperatur-Grenzschalter. Es kann beliebige Temperaturschwankungen stromabwärts der Heizung erkennen und schaltet das Werkzeug automatisch ab, wenn gefährliche Betriebstemperaturen erkannt werden. Ein automatisches Kammertürschloss sorgt dafür, dass die Kammer während des Prozesses sicher ist. UL-2604-08-HS verfügt über eine integrierte automatische Türentriegelung. Dieses Modell kann manuell über die SPS-Ausstattung oder eine externe Steuerung angesteuert werden. Ein einziges integriertes Paket mit Heizung, Quarzrohren, Heizlüfter und Temperaturregelung bietet ein effizientes und zuverlässiges Diffusionsofen & Zubehör-System.