Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS #9226230 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS
ID: 9226230
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1989
LPCVD System, 6" 1989 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das für Hochdurchsatz-Wafer-Herstellungsprozesse wie Silizium-Wafer-Verdünnung, epitaktische Abscheidung und Transistorherstellung konzipiert ist. Es verfügt über einen Tiefladetiegel mit großem Durchmesser, eine robuste Kristallmischkammer und Niedervakuumanschlüsse. Der Ofenbeladetiegel ist ein größerer Durchmesser als herkömmliche Öfen, was eine gleichmäßige Temperaturverteilung und einen höheren, schnelleren Durchsatz bei großen Wafern gewährleistet. Auch die Quarzglaswand des Tiegels beseitigt Wafer-zu-Wafer-Verschmutzungen und Fehlerbildungen. UL 2604-08 LS TELEFON wird mit einem fortgeschrittenen kristallmischenden Raum ausgestattet, der ausgezeichnete sich vermischende Prozesse für die silikonepitaxiale Absetzung sowohl bei den atmosphärischen als auch bei nitrosyl Hydrochloridabsetzungsreaktionen erzeugt. Dadurch wird eine optimale Qualität der abgeschiedenen Silizium-Epi-Schichten und nahegelegenen Geräte gewährleistet. Der Ofen wird durch Niedervakuumöffnungen und enge Konstruktion weiter verbessert, um eine minimale Verschmutzung während des Waferbehandlungsprozesses zu gewährleisten. Der Port ermöglicht auch eine Gasdruckregelung zur Steuerung der Induktorisolation des Geräts bei einstellbarer Temperatur. Ein Fernzugriff-Servo-Controller ist auch in TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS enthalten, so dass Benutzer den Ofen von jedem PC aus bedienen können, während sie den Produktionsprozess überwachen und verwalten. Darüber hinaus sorgt ein mehrkanaliges Kontaktthermoelement für eine gleichmäßige Temperaturerfassung mit einer sehr stabilen Temperaturgenauigkeit, einem schnellen Ansprechen und einem geringen Stromverbrauch. UL-2604-08-LS ist ein hochentwickelter Diffusionsofen und Zubehör, das optimierte Produktivität für Wafer-Fertigungsprozesse bietet. Sein Boden-Ladetiegel mit großem Durchmesser, seine Kristallmischkammer, seine Niedervakuumanschlüsse und sein Fernzugriff tragen dazu bei, einen hohen Durchsatz und eine hervorragende Gerätequalität zu gewährleisten. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen ist TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS sicher, die Anforderungen jedes Geräteherstellungsprozesses zu erfüllen.
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