Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS #9226251 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS
ID: 9226251
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1988
LPCVD System, 6" 1988 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS ist ein Diffusionsofen für die industrielle Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es besteht aus einem zweizonigen horizontalen Ofen mit einer P-Heizzone und einer N-Kühlzone. Die Erwärmungszone wird mit Widerstandsheizgeräten beheizt, die Temperaturen bis zu 1200˚C erzeugen können. Die Kühlzone verfügt über eine Zwangsluftkühlung, die Temperaturen bis zu 200˚C erreichen kann. Beide weisen eine gleichmäßige Temperaturverteilung für einen gleichmäßigeren Diffusionsprozess auf. TEL UL-2604-08-LS ist mit einem modernen Controller ausgestattet, der einen PID-Controller, Timer-Funktionen und ein Touchscreen-LCD für einfache Bedienung enthält. Der Controller kann mehrere Programme mit bis zu 100 Schritten und 3 Mustern für automatisierte Sequenzen ausführen. Darüber hinaus verfügt das System über ein automatisches Temperaturgerät (ATD) und ein Quick-Tilt-Gerät (QTD) zur einfachen Be- und Entladung von Teilen. TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS verfügt über eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, um einen optimalen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Es verfügt über eine Abgasanlage zum Sammeln von kontaminierten Gasen, einen Not-Aus-Schalter und eine automatisierte Brandmeldeanlage zur Rauch- und Brandmeldeerkennung. Zusätzlich kann der Ofen mit einem optionalen Sicherheitsüberwachungswerkzeug verwendet werden, um sicherzustellen, dass alle Sicherheitsmaßnahmen befolgt werden. Neben dem Hauptdiffusionsofen umfasst UL-2604-08-LS auch eine Vielzahl von Zubehörgeräten, die das Verfahren noch effizienter machen. Es umfasst einen internen Aufzug für einfaches Be- und Entladen von Teilen sowie einen Ofeneinsatz für eine effizientere Lieferung der Prozessgase. Es verfügt auch über ein intrinsisches Gasmonitormodell, das eine präzise Steuerung von Prozessgasen ermöglicht. Abschließend ist TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS ein Diffusionsofen für die industrielle Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es verfügt über fortschrittliche Technologien wie PID-Controller, Timer, ATD und QTD-Funktionen sowie eine vollständige Reihe von Sicherheitsfunktionen. Darüber hinaus macht die umfassende Zubehörliste die Ausrüstung für ein breites Anwendungsspektrum hochwirksam und effizient.
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