Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08 #293591385 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08 ist ein anspruchsvoller Diffusionsofen von TEL Limited. Es besteht aus drei Schichten für verschiedene Abscheidungsprozesse: vertikale Erwärmung, horizontale Erwärmung und vertikale Kühlung. Die vertikale Heizschicht ist mit Gasverteiler, Strahlungsheizungen und dreistufigen, beweglichen HF-Fenstern ausgestattet. Die horizontale Heizschicht ist mit mehreren Konvektionsheizungen und die vertikale Kühlschicht mit einem umlaufenden Ventilator und Kühlkörper ausgestattet. Dieser Diffusionsofen verfügt über eine maximale Temperatur von 1.850 ° C und eine maximale Betriebszeit von 90 Minuten. Zusätzlich ist es mit drei 3000V Netzteilen ausgestattet, um einen präzisen und stabilen Betrieb zu gewährleisten. Die Steuerung der Netzteile erfolgt über eine integrierte Computerausrüstung, die unter Windows 7 OS arbeitet. Dieses Betriebssystem ermöglicht verschiedene Einstellungen einschließlich Temperaturregelung, Vorwärmzonensteuerung, Abscheidezonensteuerung und Kühlzonensteuerung. TEL UL 2604-08 kann für verschiedene Abscheideprozesse und Materialien wie Poly-Si, Mo-Si2 und Ni-Silicid verwendet werden. Darüber hinaus kann es sowohl für die Richtungs- als auch für die lineare Abscheidung verwendet werden. Sie ist energieeffizient, mit geringem Stromverbrauch und geringem Geräuschpegel. Es hat auch eine Auto-Stop-Einheit, die den Betrieb automatisch beendet, wenn der Prozess beendet ist. Die Ausrüstung umfasst auch eine automatische Hebe-/Enthebefunktion und drei Luftschlösser, die ein schnelles Be-/Entladen von Werkstücken ermöglichen. TOKYO ELECTRON UL 2604-08 ist auch mit einem Typ-A-Verschluss ausgestattet, um eine niedrige Substratkonzentration zu erhalten, was eine höhere Gleichmäßigkeit der Wafertextur ermöglicht. Schließlich ist es mit einer erweiterten Fernzugriffsmaschine und einer Alarmlampe ausgestattet, die einen erhöhten Sicherheitsspielraum ermöglicht. In einem einzigen Gewand und kompakter Bauweise untergebracht, ist UL 2604-08 ein idealer Diffusionsofen für verschiedene industrielle Anwendungen. Mit integrierten automatischen Steuerungssystemen und verschiedenen anderen Funktionen ist TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08 ein zuverlässiger, robuster und kostengünstiger Diffusionsofen von TOKYO ELECTRON.
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