Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08H #9155404 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08H
ID: 9155404
Wafergröße: 6"
Horizontal furnace, 6" 4 Stack POCl3 Process.
TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08H ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das den hohen thermischen Anforderungen der Halbleiterbauelementherstellung gerecht wird. Dieses Gerät besteht aus einem leistungsstarken, robusten Quarzkörper, der eine gleichmäßige Erwärmung ermöglicht. Der robuste Quarzkörper nutzt eine Kombination aus In-situ- und Ex-situ-Heizmethoden sowie die Prinzipien der Diffusion, um Wärme gleichmäßig in der gesamten Verarbeitungsumgebung zu verteilen. TEL UL 2604-08H ist ideal für den Dotierstoffdiffusionsprozess. Es bietet Funktionen wie Präzision lineare Steuerung der Hochtemperaturheizung, Zuverlässigkeit, einen weiten Temperaturbereich und Niedertemperaturfähigkeit. Darüber hinaus bietet dieses System flexible Optionen zur Steuerung von Peripheriegeräten und hervorragende Isolationseigenschaften. TOKYO ELECTRON UL 2604-08H Einheit hat eine Mehrzonenstruktur mit horizontalen Haupt- und Filterzonen. Die Hauptzone ist in vier einzelne temperaturgeregelte Bereiche unterteilt. Dieser Ofen ist mit einem effizienten, geschlossenen, ultra-niedrigen Druck Warmwandinnenraum entworfen, um eine gleichmäßige thermische Verteilung über alle vier Temperaturzonen zu gewährleisten. Es ist mit drei Kühlventilatoren für erhöhte Kühleffizienz und Zugabe einer CO2-Prallwand zur Steuerung des Luftstroms ausgestattet. Darüber hinaus verfügt UL 2604-08H über eine automatisierte Gassteuerungsmaschine, die verschiedene Gase mit einem maximalen Durchfluss von 600 SLM verwenden kann. Das Tool bietet auch optionale Funktionen wie Fernbedienung und Überwachung, Elektronenerfassungsdetektor (ECD) für die Leistungsüberwachung, programmierbare PID-Controller und ein Anti-Kontamination-Filter. Diese Anlage ist mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen wie Notabschaltmechanismen und Sicherheitsverriegelungsmodell ausgestattet. Zusätzlich wird ein Abgasanschluss installiert, um die Umgebungsbedingungen aufrechtzuerhalten und Prozessausfallzeiten zu reduzieren. TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08H ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen und Zubehör, der die hohen Anforderungen der Halbleiterbauelementherstellung erfüllt. Es bietet einen effizienten, niederdruckheißen Wandinnenraum und effiziente Kühlventilatoren für eine gleichmäßige Temperaturverteilung. Diese Ausrüstung ist sehr anpassbar und bietet mehrere optionale Funktionen für mehr Sicherheit und Zuverlässigkeit. TEL UL 2604-08H ist eine ideale Wahl für den modernen Halbleiterbauelementehersteller.
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