Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08L #9395933 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08L ist ein Diffusionsofen und Zubehör für den Einsatz in der Halbleiterverarbeitung. Es handelt sich um einen horizontalen, warmwandartigen Diffusionsofen, der sowohl P- als auch N-Halbleitersubstrate gleichzeitig in einer einzigen Kammer verarbeiten soll. Dieser Diffusionsofen wird für hochreine Filme, wie Silizium und Galliumarsenid, zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet. TEL UL 2604-08L verfügt über eine Ultrahochvakuum (UHV) -Kammer aus einer Edelstahl-Zerstäubungsanlage, die eine ausgezeichnete thermische Stabilität bietet und eine gleichmäßige Verteilung der Gase innerhalb der Kammer gewährleistet. Der Innenraum der Kammer ist auch mit Heizungen und Temperaturreglern für eine genaue Kontrolle der Temperaturen über die Oberfläche ausgestattet. Es ist für die Verarbeitung von Substraten bis zu einer Breite von 200 mm ausgelegt und kann bei Temperaturen bis zu 800 ° C mit einer maximalen Temperaturfähigkeit von bis zu 1100 ° C betrieben werden, wenn die Substratgrößen unter 140 mm liegen. Darüber hinaus verfügt die Heizung über eine Mehrzonentemperaturregelung zur gleichmäßigen Erwärmung über die Kammer. TOKYO ELECTRON UL 2604-08L bietet zudem mit seinem Doppelantriebsmotorsystem ein erhöhtes Motormoment und eine längere Lebensdauer. Es ist auch in der Lage, eine erweiterte thermische Verarbeitung des Substrats, wie Oxidation, Nitridation und andere Prozesse, die geeignet sind, ultraniederfrequente (ULF) Signale sowie hochfrequente Kopplung zu passieren. UL 2604-08L ist mit Sicherheitsfunktionen wie einem Not-Aus-Knopf und einer automatisierten Sicherheitseinheit ausgestattet. Die Maschine enthält auch ein Energieüberwachungswerkzeug, das den Stromverbrauch überwacht und das Gerät herunterfährt, wenn der Stromverbrauch das voreingestellte Niveau überschreitet. Darüber hinaus ist das Modell mit einer automatischen Spülvorrichtung zur Verhinderung von Gasleckagen ausgestattet. Die Abgasanlage verfügt über einen eingebauten Filter und kann den Austritt gefährlicher Gase reduzieren. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08L Diffusionsofen und Zubehör ideal für die Verarbeitung von Halbleiterbauelementen. Es wird mit einer Kombination aus überlegener Technik und fortschrittlicher Technologie gebaut, die zuverlässige und qualitativ hochwertige Produkte gewährleistet. Dieser Diffusionsofen ermöglicht es Benutzern, eine präzise Temperaturregelung und eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit zu erzielen, was ihn zu einer idealen Wahl für die Verarbeitung von Halbleitern im Produktionsmaßstab macht.