Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-10H #61662 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 61662
Furnaces
Cantilever loading system
Pyrogenic gas system
Furnace 1:
Tube 1:
Oxidation process
(5) MFC Gas jungles with SCHUMACHER TSC107 bubbler
MFC 1: High N2
MFC 2: High O2
MFC 3: Low O2
MFC 4: H2
MFC 5: Low N2 for SCHUMACHER Bubbler
H2 O2 Torch
Tube 2:
Oxidation process
(5) MFC Gas jungles with SCHUMACHER TSC107 Bubbler
MFC 1: High N2
MFC 2: High O2
MFC 3: Low O2
MFC 4: H2
MFC 5: Low N2 for SCHUMACHER Bubbler
H2 O2 Torch
Tube 3:
Boron diffusion process
(2) MFC Gas jungles with SCHUMACHER Bubbler TSC107
MFC 1: High N2
MFC 2: High O2
Tube 4:
Sinter process
MFC Gas jungle with SCHUMACHER bubbler TSC107
Furnace 2:
Tube 1:
Drive in process
(5) MFC Gas jungles with SCHUMACHER TSC107 bubbler
MFC 1: High N2
MFC 2: High O2
MFC 3: Low O2
MFC 4: H2
MFC 5: Low N2 for SCHUMACHER bubbler
H2 O2 Torch
Tube 2:
Drive in process
(5) MFC Gas jungles with SCHUMACHER TSC107 bubbler
MFC 1: High N2
MFC 2: High O2
MFC 3: Low O2
MFC 4: H2
MFC 5: Low N2 for SCHUMACHER bubbler
H2 O2 Torch
Tube 3:
Boron diffusion process
(2) MFC Gas jungles with SCHUMACHER bubbler TSC107
MFC 1: High N2
MFC 2: High O2
Tube 4:
Sinter process
MFC Gas jungle with SCHUMACHER bubbler TSC107.
TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10H ist ein Diffusionsofen & Zubehör. Es ist ein fortschrittliches Werkzeug, das in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es wird verwendet, um dünne Filme und Beschichtungen auf verschiedenen Substraten wie Metallisierung, dielektrische und Metallplattierung wachsen. TEL UL 2604-10H Diffusionsofen ist ein Top-Produkt aus TEL. Es verfügt über 10 Heizzonen mit den höchsten Temperaturwerten, die derzeit auf dem Markt für die Dünnschichtabscheidung in Produktionsqualität verfügbar sind. Die maximale Prozesstemperatur für dieses Produkt beträgt 2600 ° C und unterstützt Leistungsstufen bis zu 30 kW. TOKYO ELECTRON UL 2604-10H bietet auch eine Vielzahl von Steuerungsmöglichkeiten, die eine präzise Kontrolle über Wachstum und Abscheidung von Materialien ermöglichen. Dazu gehören Pt 100 resistive Thermometer-Steuerung, sowie Übertemperaturschutz. Dadurch wird sichergestellt, dass jeder Prozessfehler durch Übertemperatur schnell und effizient korrigiert wird. UL 2604-10H verfügt über einen doppelt geschmiedeten SILTECH Cu-Mo-Cr Tiegelofen mit einer extra großen Arbeitskammer. Dies ermöglicht eine viel größere Abscheidungsfläche, wodurch Anwender eine überlegene Filmabscheidungsgleichmäßigkeit erzielen können. Neben seiner hohen Leistung ist TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10H auch unglaublich zuverlässig und sicher. Der Ofen verfügt über eine eigene Sicherheitsausrüstung, die den Ofen vor Prozess- und Sicherheitsfehlern überwacht und schützt. Der Ofen ist außerdem staubdicht, wobei Staubpartikel innerhalb des Systems verbleiben, wodurch Staub und schädliche Lösungsmittel nicht in die Kammer gelangen. TEL UL 2604-10H verfügt auch über eine Vielzahl von Zubehör, darunter Quarztiegel, ultra-saubere C4-Verarbeitungsmodule und eine Vakuumeinheit. Auf diese Weise können Anwender die Verarbeitungsgeräte und Komponenten an die spezifischen Anforderungen ihres Prozesses anpassen. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON UL 2604-10H von TOKYO ELECTRON eine erstklassige Wärmeabscheidungsmaschine, die höchsten Qualitäts- und Leistungsstandards gerecht wird. Mit beeindruckenden Temperatur-, Leistungs- und Steuerungsfähigkeiten sowie einer Vielzahl von Zubehör und Sicherheitsmerkmalen ist dieser Diffusionsofen & Zubehör perfekt für eine Vielzahl von Halbleiter-, Mikrofabrikations- und Dünnschichtabscheidungsanwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor