Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-10HL #293595280 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10HL ist ein Diffusionsofen und Zubehörpaket für Anwendungen wie fortschrittliche Halbleiterbauelementherstellung, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) Geräteherstellung und allgemeine fortschrittliche Materialbearbeitung entwickelt. TEL UL 2604-10HL bietet eine unübertroffene Leistung in Bezug auf thermische Gleichmäßigkeit und Kontrolle für eine fortschrittliche Präzisionstemperaturverarbeitung. Die Basiskonfiguration von TOKYO ELECTRON UL 2604-10HL umfasst eine Prozesskammer mit einem Wafer, eine Prozessgassteuereinrichtung und eine einstellbare Suszeptorstützbaugruppe mit hoher Dichte. Die Einwafer-Prozesskammer ist aus Graphit und kompatibler Aluminiumlegierung für überlegene Temperaturgleichförmigkeit aufgebaut. Es verfügt über eine Be-/Entladetür zum Be- und Entladen von Proben sowie eine integrierte Prozesskammerheizung, die Temperaturen bis 2600 ° C erreichen kann. Die Prozessgasregelung ermöglicht eine präzise Temperaturregelung und Atmosphärenregelung und gewährleistet saubere und zuverlässige Prozessbedingungen. Die verstellbare Suszeptor-Trägerbaugruppe mit hoher Dichte sorgt für präzise, wiederholbare Probenbelastung und Positionierung. UL 2604-10HL wird auch mit mehreren Zubehörteilen geliefert. Es enthält ein hochgenaues Thermoelement, einen Quarzgaseinlasskrümmer und einen Quarzprozessduschkopf. Das hochgenaue Thermoelement ist so konzipiert, dass es eine präzise Temperaturmessung ermöglicht, während der Quarzgaseinlasskrümmer eine präzise Gasströmungsregelung ermöglicht und saubere Operationen gewährleistet. Der Quarzprozessduschkopf ist auf Prozessgleichförmigkeit ausgelegt und ermöglicht eine präzise thermische Steuerung der Probe. TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10HL verfügt über eine intuitive benutzerfreundliche Oberfläche und verfügt über mehrere Sicherheitsfunktionen, darunter einen Not-Aus-Knopf und eine Übertemperaturschutzeinheit. Der Ofen enthält auch eine Datenerfassungsmaschine, die Prozessparameter speichert und es Anwendern ermöglicht, problemlos Prozessbedingungen aus früheren Läufen zu überprüfen. All diese Eigenschaften machen TEL UL 2604-10HL zu einem idealen Werkzeug für fortschrittliche Halbleiter- und MEMS-Geräteherstellung und allgemeine fortschrittliche Materialbearbeitung.