Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UX-1080 #9276695 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON UX-1080 ist ein Diffusionsofen und sein Zubehör zur gleichmäßigen Diffusion von Dotierstoffen wie Phosphor und Arsen zur Herstellung von Hochgeschwindigkeitsbauelementstrukturen, die in Halbleiter- und anderen Bauelementen verwendet werden. Es ist für überlegene Substratgleichförmigkeit und hohen Durchsatz ausgelegt, da der Ofen in der Lage ist, bis zu 30 Gruppen, 200 mm Wafer gleichzeitig abzuscheiden. Es bietet auch eine ausgezeichnete Prozessgleichmäßigkeit vom Anfang bis zum Ende des Ofens. TEL UX-1080 ist mit einem horizontal gelegenen erweiterten Bootstransferofen ausgestattet. Es ist mit einem gasbetriebenen Beschleunigungsmechanismus ausgebildet, der eine schnelle Beschleunigung und Verzögerung des Bootes ermöglicht, wodurch die für die Übertragung des Wafers erforderliche Zeit reduziert wird. Darüber hinaus bietet die obere Oberflächenkammer eine beheizte Konvektion mit gleichmäßiger horizontaler Hochgeschwindigkeitsbewegung, die eine gleichmäßige Erwärmung während des gesamten Prozesses ermöglicht. Der Diffusionsprozess in TOKYO ELECTRON UX-1080 besteht aus drei Stufen: vorheizen, reagieren und abkühlen. Die Vorwärmstufe verwendet eine programmierbare beheizte Walze, um eine gleichmäßige Waferoberflächentemperatur und einen hohen Durchsatz zu gewährleisten. Die Reaktionsstufe ist mit einem induktiven Heizsystem ausgestattet, das einen schnellen Wafertemperaturanstieg und eine ausgezeichnete Temperaturgleichförmigkeit erreicht, was die Gleichmäßigkeit der Diffusion positiv beeinflusst. In der Abkühlstufe bietet ein neu entwickeltes „Rapid Cooling System“ eine hervorragende Kühlgleichförmigkeit trotz hohen Durchsatzes durch minimierte thermische Steigungen im Ofen. Darüber hinaus eignet sich UX-1080 für eine Vielzahl von Anwendungen, wie Diffusionsbindung, Gate-Oxidation, Silizide und selektive Oxidationstechnologien. Es ist auch mit einem Kühlsystem ausgestattet, das ein Nachglühen der Wafer ermöglicht, ohne dass eine separate Kühlkammer erforderlich ist. Diese Eigenschaft ist besonders vorteilhaft, als sie mit Hochleistungshalbleitergeräten verwendet wird, die schnelle Thermalstabilisierung verlangen. TEL/TOKYO ELECTRON UX-1080 Diffusionsofen ist ideal für die Herstellung von klein- und hochfrequenten Halbleiterprodukten. Sein robustes Design, eine einheitliche Prozesssteuerung, geringer Wärmeverlust und Hochgeschwindigkeitsbetrieb machen es zu einer attraktiven Option für die Großserienproduktion, die eine überlegene Qualitätskontrolle und wiederholbare Ergebnisse bietet.