Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #293819010 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen und Zubehör mit Leistungsfähigkeit, die es zu einer idealen Wahl für viele Fertigungsanwendungen machen. Es verfügt über eine Standard-Keramik-Suszeptor-Platte und verfügt über eine Hochtemperatur-Bewertung, so dass es für allgemeine thermische Prozesse in der Halbleiterindustrie geeignet ist. Der Ofen arbeitet mit einer maximalen Temperatur von bis zu 1150 ° C und gewährleistet eine zuverlässige und wiederholbare Leistung mit Wasserstoff oder Stickstoff-Umgebung. TEL UX-11P10-4HT verfügt über eine robuste Konstruktion und eine Reihe von Funktionen, um einen zuverlässigen Betrieb und eine konstante Leistung im Laufe der Zeit zu gewährleisten. Es verfügt über ein Zonenheizsystem mit 4 unabhängig steuerbaren Heizzonen, die es ermöglichen, hohe Temperaturen in viel kürzerer Zeit zu erreichen. Der Ofen weist außerdem eine Abkühleinheit auf, die die Kammer und die Suszeptorplatte rasch kühlt, um eine Weiterverarbeitung zu ermöglichen, sobald die gewünschte Temperatur erreicht ist. Es verfügt über ein 1000 W/cm2 radiometrisches Infrarot-CVD-Heizelement, das einen konsistenten Heizprozess und eine hohe Prozesskontrolle ermöglicht. Die Temperaturgleichmäßigkeit des Ofens von ± 3 ° C auf einem Wafer mit 100-280 mm Durchmesser ermöglicht einen gleichmäßigen thermischen Prozess über eine Reihe von Substraten. TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT enthält auch eine Reihe von Prozessoptionen, um eine optimale Leistung für die beabsichtigten Produkte zu gewährleisten. Es hat eine Vielzahl von Durchflusssteuerungsmöglichkeiten für die Dosierung von Gasen innerhalb der Reaktionskammer, einschließlich Massenstromregler, MFCs und eine IFAC-Vorrichtung, um eine genaue Konzentration während des gesamten Prozesses zu gewährleisten. Der Ofen kann auch in Niederdruckumgebungen laufen, mit einer Niederdruckoption, die bis zu 0,1 mbar verwendet werden kann. Die Maschine verfügt auch über eine HF-Stromquelle, so dass Prozesse wie Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) in der Umgebung des Ofens stattfinden können. Ein integrierter Controller wird mit dem Ofen geliefert, so dass der Benutzer die Temperaturen genau kontrollieren und Trends überwachen kann, um das höchste Leistungsniveau während des gesamten Prozesses zu gewährleisten. UX-11P10-4HT ist dank seiner robusten Konstruktion und zuverlässigen Leistung eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Fertigungsprozessen. Seine breite Palette an Prozessoptionen, integrierte Steuerung und Hochtemperaturbewertung machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für jeden Produktionsbedarf.