Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198280 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT ist ein Diffusionsofen und Zubehör für Hochdurchsatz-Halbleiterwaferprozesse. Es eignet sich für Produktions- und Forschungsanwendungen, die von der Schüttgutoxidation bis zur Hochleistungswerkstoffverarbeitung reichen. TEL UX-11P10-4HT ist ein horizontaler Diffusionsofen mit einem Wafer, der bis zu vier 8-Zoll-Wafer oder zwei 12-Zoll-Wafer parallel verarbeiten kann. Das Gerät ist modular aufgebaut und seine Hauptkomponenten sind ein Waferhalter, eine Heizung, ein Gasverteilungssystem, eine Stromversorgung, eine Abgaseinheit und eine Blindgassteuereinheit. Der Waferhalter von TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT verfügt über einen Suszeptor, eine keramische dielektrische Heizung und einen angetriebenen Hubmechanismus. Der Suszeptor-Heizer verfügt über eine AlTiC-Beschichtung zur Verbesserung der thermischen Gleichmäßigkeit, die eine verbesserte Temperaturgleichförmigkeit über die gesamte Waferoberfläche während des Diffusionsprozesses ermöglicht. Der angetriebene Hubmechanismus ermöglicht eine Feineinstellung von Heizung und Suszeptor in vertikaler Z-Achsenrichtung. Die Gasverteilmaschine von UX-11P10-4HT besteht aus einem Gaspaneel, Durchflussmesser und Gasleitungen, die zur Einleitung von Gasen verwendet werden, die während der Waferbearbeitung benötigt werden. Die Stromversorgung des Werkzeugs besteht aus einem Wechselstromgenerator und einer Gleichstromversorgung, die die für die Heizstufe des Ofens benötigte Leistung liefert. Der Auspuff von TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT ist so konzipiert, dass er die bei der Waferbearbeitung entstehenden Gase abzieht und eine hohe Abgaseffizienz liefert. Die Gassteuereinheit des Modells enthält die notwendigen Komponenten, um die gewünschte Gasmenge zum richtigen Zeitpunkt zur Erreichung der Prozessanforderungen einzuspritzen. Abschließend ist TEL UX-11P10-4HT ein Hochdurchsatz-Diffusionsofen, der die Halbleiterprozesse mit einer beeindruckenden Steuerung und Effizienz abwickelt. Der modulare Aufbau seiner Komponenten erleichtert die Integration in bestehende Prozessströme und die Suszeptor-Heizung und die Gassteuerung ermöglichen ein präzises Temperatur- und Gasmanagement. Dank dieser Eigenschaften ist TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT zu einer zuverlässigen und kostengünstigen Wahl sowohl für Produktions- als auch für Forschungsanwendungen in der Halbleiterindustrie geworden.