Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198282 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT
ID: 9198282
Wafergröße: 6"
Horizontal furnace, 6" NEGA EMIT Slump.
TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT ist ein fortschrittliches Diffusions- und Zubehörpaket für Speicherherstellungsanwendungen. Es verfügt über eine ultradünne Kammer und eine erweiterte Temperaturregelung für eine präzise und wiederholbare Verarbeitung. Der Diffusionsofen ist mit einem eingebauten Breitband-Temperatursensor ausgestattet, der eine genaue Kontrolle der Prozesstemperaturen bis 1100 ° C gewährleistet. Das benutzerfreundliche Multi-Touch-LCD-Panel macht die Einrichtung und Steuerung von bis zu vier verschiedenen Heiz-/Kühlzonen zum Kinderspiel. TEL UX-11P10-4HT bietet auch eine große Auswahl an Rohrmaterialien, so dass Benutzer ihre Ausrüstung auf ihre spezifischen Anwendungen anpassen können. Das optionale Zubehör des Ofens umfasst einen 4-Wege-Gasdurchflussmesser, der den Durchfluss eines einzelnen Prozessgases steuert, sowie einen On-Wafer-Heizer für eine verbesserte Gleichmäßigkeit. Zur zusätzlichen Steuerung mehrerer Prozessgase kann auf Wunsch ein zusätzlicher automatischer Durchflussregler in das System eingebaut werden. TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT verfügt über einen optionalen Rotationsmechanismus, der es der Basis des Ofens ermöglicht, sich um eine Reihe von Winkeln zu drehen, so dass es ideal zum Teilen von Wafern ist. Die Kammer weist außerdem einen abnehmbaren Graphitsaftaufnehmer auf, der vollständig auf die gewünschte Kontur bearbeitbar ist. Dies erhöht die Rezeptflexibilität und reduziert „Edge Effect Peaks“ während der Wafer-Rotation. UX-11P10-4HT ist sehr zuverlässig und einfach zu bedienen. Seine Überwachungssysteme können Prozessunterbrechungen erkennen, bevor sie auftreten, automatisch alle Leistung im Falle einer Anomalie herunterfahren. Das System läuft auf einer sauberen, zuverlässigen 220V einphasigen Stromversorgung und ist für maximal 12A Strom ausgelegt. TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT ist cULus, CE und SGS zugelassen und erfüllt die höchsten europäischen Sicherheitsstandards. Gebaut, um zu halten, wird das System mit einem Oxidfilm beschichtet, um Korrosion und Kammerabbau zu verhindern. Diese Eigenschaften machen diesen Diffusionsofen und das Zubehörpaket zur idealen Wahl für Anwendungen zur Speicherherstellung.
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