Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198286 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT ist ein fortschrittliches, integriertes Diffusionsofen und Zubehör, das präzise thermische Verarbeitungsfunktionen für eine Vielzahl von Anwendungen bietet. Diese polygonförmige, obere Ladevorrichtung ist aus Edelstahlbauteilen aufgebaut und verfügt über eine Dreizonenschale mit einem hermetisch abgedichteten Türmechanismus, um eine maximale Prozesswiederholbarkeit und -sicherheit zu gewährleisten. Das System funktioniert durch ein einzoniges Vierkammer-Array mit direkten Heizelementen an zwei gegenüberliegenden Seiten und einem zentralen Bauteil auf Basis einer patentierten „Pfeilspitze“ Wärmediffusionsdesign. Die aktiven Bereiche der Diffusionszelle umfassen eine heiße Zone, eine warme Zone und eine kühle Zone mit jeweils unabhängiger Temperaturregelung und einer maximalen Temperatur von 1150 ° C. Die TiN-Kugelprozessstation ist auf einheitliche Diffusionsprozesse zugeschnitten und bietet eine flexible und zuverlässige Lösung für branchenspezifische Oxidationsprozesse und andere Gase. Ausgerüstet mit in-situ Emissionsüberwachung bietet TEL UX-11P10-4HT eine überlegene Temperaturgleichmäßigkeit und Stabilität innerhalb der Diffusionszelle. Integrierte Analysetools ermöglichen eine Echtzeit-Prozessüberwachung mit Gas- und Temperaturmessungen. Zu den weiteren Merkmalen von TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT gehören ein automatisierter Waferkassettenprozess mit einer Kassettenadapterplatte, eine vollständig geschlossene aktive Gasdusche, eine kombinierte Lastschloss/Kammer-Entladeeinheit und mehrere schnelle thermische Prozessfähigkeiten. Darüber hinaus ist die Maschine mit einem eingebauten, niederprofiligen Gasförderwerkzeug ausgestattet, um eine gleichmäßige Versorgung mit Prozessgasen zu gewährleisten. Das Asset ist zudem mit mehreren benutzerfreundlichen Erweiterungen ausgestattet, wie einem leicht zugänglichen Wartungs-Modell und einem digitalen Temperaturauslesungs-Display sowie einer intuitiven Prozesssoftware für Analyse und Tracking. Zusammenfassend ist UX-11P10-4HT ein fortschrittliches, integriertes Diffusionsofen- und Zubehörsystem mit präzisen thermischen Verarbeitungsfähigkeiten für eine Vielzahl von Anwendungen. Sein hermetisch abgedichteter Türmechanismus, die Dreizonenschale und die In-situ-Emissionsüberwachung sorgen für eine überlegene Temperaturgleichmäßigkeit und Stabilität innerhalb der Verarbeitungszelle. Zusammen mit einem automatisierten Wafer-Kassettenprozess und mehreren schnellen thermischen Prozessfähigkeiten ist das Feature-Packed-Design von TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT ideal für eine konsistente Versorgung mit Prozessgasen und einfache benutzerfreundliche Verbesserungen.