Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #141288 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S ist ein einzoniger, vertikaler Röhren-Diffusionsofen, der geeignet ist, durch thermische Oxidation und Diffusion Schichten auf Hochtemperatur-Halbleitersubstraten zu erzeugen. Es verfügt über eine eloxierte Aluminiumkammer, die Temperaturen von bis zu 1000 ° C und Drücke bis zu 600 Torr handhaben kann. Das Gerät verfügt auch über TEL fortschrittliche, hocheffiziente Auto-Isolierung Ausrüstung, entworfen, um thermischen Widerstand und Wärmeverlust zu minimieren. Ein weiteres Merkmal dieses Modells ist sein Hochgeschwindigkeitsheizsystem, das in der Lage ist, Schichten mit Dicken von bis zu 8.000 Angström in weniger als einer Stunde zu erstellen. TEL VCF-615S Diffusionsofen enthält eine Hauptkammer zur Bearbeitung von Substraten, einen Kühlmechanismus für die Hauptkammer und einen Kühlmechanismus für den Anodenstab. Die Hauptkammer ist ein vertikales Edelstahl-Diffusionsrohr mit einem Durchmesser von 6 „und einer Höhe von 24“. Der Hochtemperaturofen wird durch eine Gleichstromheizung beheizt, und ein Anodenstab wurde hinzugefügt, um eine gleichmäßige Heizrate und Temperatur zu ermöglichen. Erwärmter Wasserstoff wird in die Hauptkammer eingeleitet und die Temperatur durch Variation des Wasserstoffstroms gesteuert. Eine Vielzahl von Zubehör sind mit TOKYO ELECTRON VCF 615S Diffusionsofen erhältlich, einschließlich einer Temperaturüberwachungseinheit und höheren Druckregelgeräten wie einem Manometer und einem Manometer. Die Temperaturüberwachungsmaschine ermöglicht jederzeit genaue Temperaturmessungen, während das höhere Druckkontrollzubehör genaue Abscheideraten ermöglicht, indem der Benutzer sowohl die Temperatur als auch den Druck steuern kann. Zusätzlich zu diesen Merkmalen wurde VCF 615S Diffusionsofen mit einem zusätzlichen Sicherheitsmerkmal ausgelegt, das eine Oxidation in der Hauptkammer bei zu geringem Druckabfall verhindern kann. Dies geschieht durch Einbringen von Stickstoff in die Kammer und Überwachung des Drucks mit einem Manometer. Dieser Diffusionsofen kann für eine Vielzahl von Verfahren wie Silizium-Wafer-Oxidation, Kristallwachstum, Fehlerreduktion, Source-und Drain-Arzneimittelprozess und andere verwandte Prozesse verwendet werden. VCF-615S Diffusionsofen ist ein effizientes und zuverlässiges Werkzeug zur Erzeugung hochwertiger Schichten auf Halbleitersubstraten. Die Vielseitigkeit dieses Modells und sein Hochgeschwindigkeits-Heizwerkzeug machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen. Darüber hinaus machen die Sicherheitsfunktion, die Temperaturüberwachung und das Druckkontrollzubehör dieses Modell zu einer sicheren und effektiven Wahl für die Erstellung von Schichten mit engen Toleranzen und genauen Ergebnissen.