Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #293747364 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S
ID: 293747364
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1994
Diffusion furnace, 6" 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S ist ein Stück fortschrittliche Ausrüstung in der Halbleiterproduktion Industrie verwendet. Es ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen und zugehöriges Zubehör für eine breite Palette von Halbleiterprozessen, wie Diffusion, Oxidation und Nitridation. Der Ofen ist für die Hochleistungsfertigung ausgelegt und kann sehr hohe Temperaturen bis 1100 ° C erreichen. TEL VCF-615S besteht aus drei Fächern, Vorwärmkammer, Diffusionskammer und Kühlkammer. Mit der Vorwärmkammer wird das Substrat vor Eintritt in die Diffusionskammer auf die gewünschte Temperatur erwärmt. Die Diffusionskammer ist der Hauptbestandteil des Ofens, wo der Diffusionsprozess stattfindet. Dies ist ein Verfahren in der Halbleitertechnik, das Dotierstoffe in die Oberflächenschichten der Wafer implantiert oder diffundiert. Die Kühlkammer dient zur Abkühlung der Wafer nach der Bearbeitung in der Diffusionskammer. TOKYO ELECTRON VCF 615S ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, die es ideal für die Halbleiterherstellung machen. Die Benutzeroberfläche der Öfen ist einfach zu bedienen, mit einem schnellen Start und automatischem Abschalten des Ofens. Es verfügt auch über eine selbstdiagnostische Ausrüstung, die in der Lage ist, Systemprobleme zu beheben und den Bediener auf ein mögliches Problem aufmerksam zu machen. Die Gleichmäßigkeit der Temperatur des Ofens ist einer der Schlüsselfaktoren für eine erfolgreiche Diffusion und VCF-615S verwendet eine fortschrittliche Einheit für die Gleichmäßigkeit der heißen Zonen mit einem Zweizonen-Heißzonenregler und zwei unabhängigen Prozessgasströmen, um eine gleichmäßige Temperatur in der gesamten Kammer und die Gleichmäßigkeit der Ergebnisse zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON VCF-615S ist zudem extrem energieeffizient und setzt eine Isoliermaschine ein, um den Energieverbrauch erheblich zu reduzieren. Die Isolierung ist auch extrem langlebig, was hilft, die Produktionskontinuität zu gewährleisten. Der Ofen umfasst ein Hochleistungs-Vakuum-Abgaswerkzeug und Hochleistungs-Staubfilter, die beide wichtig sind, um Verschmutzungen bei der Herstellung von Wafern zu verhindern. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON VCF 615S ein hochentwickelter Hochleistungs-Diffusionsofen und dazugehöriges Zubehör, das sich für den Einsatz in der Halbleiterindustrie eignet und für zuverlässige Ergebnisse und effizienten Betrieb ausgelegt ist.
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