Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #293747447 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das im industriellen Prozess der Herstellung von Halbleiterbauelementen wie Bauelementen für Computerchips, Solarzellen und Transistoren verwendet wird. Der Diffusionsofen verwendet thermische Diffusionsverfahren zur Dotierung von Halbleitersubstraten mit unterschiedlichen Elementen (hauptsächlich Bor und Phosphor), die für die Herstellung benötigt werden. Dies ist ein Quarz-Prozessrohr mit einer Länge von 1.600 mm und einer Breite von 166 mm, das bei einer maximalen Temperatur von 1250 Grad Celsius arbeiten kann, und wird in den Prozessen der Implantierung, Diffusion, Glühen und thermischen Oxidation verwendet. Die hohe thermische Trägheit von TEL VCF-615S Diffusionsofen macht ihn zu einem idealen Miniaturisierungsgerät für die Hochstromherstellung von Miniaturkomponenten. Bei der Wirksamkeit des diffusen Ofens geht es nicht nur um seine hohe thermische Trägheit, sondern auch um seine Präzision und Zuverlässigkeit sowie seine geringen Stückkosten. Es bietet auch maximale Prozesskontrolle in Bezug auf Temperaturgleichmäßigkeit, hohe Heizrate und die Fähigkeit, Temperaturen genau und schnell einzustellen. Der Ofen verfügt außerdem über ein Thermoelement-System zur aktiven Regelung der Prozesstemperaturen, eine Vielzahl von Kontrollsystemen für Diffusionszeiten und -raten sowie integrierte Hintergrundgase (Ar und H2). Darüber hinaus ist seine Gasmeßeinheit mit Sicherheitsmerkmalen zur Vermeidung von Verunreinigungen des Prozessrohres sowie zur Vermeidung von gefährlichen Gasansammlungen in der Maschine ausgestattet. Darüber hinaus bietet TOKYO ELECTRON VCF 615S integrierte Entlüftungsöffnungen, die eine schnelle Dispergierung der Prozessgase gewährleisten und das Risiko eines gefährlichen Aufbaus vermeiden. Die Einheit verfügt über eine dreischichtige Ni-Pt isolierte Aluminiumkammer und die Schutzschichtkammer bietet jederzeit Sicherheit. Der Ofen gewährleistet auch die Beständigkeit gegen hohe Temperaturen und thermischen Schock. Außerdem weist die Quarzkammer eine Oberflächengüte auf, die einen guten Modulkontakt gewährleistet. TEL/TOKYO ELECTRON VCF 615S Diffusionsofen und Zubehör sind ein zuverlässiges und robustes Gerät, das eine effektive und genaue Dotierung verschiedener Elemente für die Erstellung von Halbleiterbauelementen bieten kann. Ausgestattet mit einer Vielzahl von Funktionen wie Thermoelementsystemen, Steuerungssystemen, Hintergrundgasen, Prozessgasen, einer Schutzschichtkammer und einer Ni-Pt-isolierten Aluminiumkammer bietet dieser Diffusionsofen eine leistungsstarke und zuverlässige Lösung für die Halbleitererzeugung.
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