Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #9269439 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S ist ein vertikaler Diffusionsofen mit einer Reihe von Zubehörteilen, die präzisere und effizientere Diffusionsprozesse ermöglichen. Es ist für Anwendungen in der Halbleiterindustrie wie Oxidation, Gettering, Abscheidung und schnelle thermische Verarbeitung (RTP) konzipiert. Der Ofen selbst besteht aus hochwertigen Komponenten wie einer Edelstahl-Wärmekammer. Diese Kammer ist mit einer leistungsstarken Zweizonen-Heizung ausgestattet, die sowohl eine vom Benutzer einstellbare PID-Temperaturregelung als auch eine 0.1℃ Heizgenauigkeit bietet. Die Kammer kann auch gekippt werden, um von der schwerkraftunterstützten Option zu profitieren, die eine maximale Gleichmäßigkeit im Diffusionsprozess ermöglicht. TEL VCF-615S verfügt auch über ein Quarzboot, das bis zu 200mm Wafer aufnehmen kann. Dieses Boot wird durch ein Doppel-Untergangstor angehoben, das hilft, die Wafer während des Prozesses sicher zu halten. Für eine bessere Waferkühlung und Positionierung kann das Quarzboot auch auf 45 ° kippen. Zum Be- und Entladen ist TOKYO ELECTRON VCF 615S mit einem automatisierten Wafer-Kassetten-Shuttle-System ausgestattet. Diese PC-gesteuerte Einheit kann Wafer bis zu einem halben Meter von der Wärmekammer weg bewegen, um die Auswirkungen von Wärmestrahlung auf den Bediener zu reduzieren. Die Shuttle-Maschine ermöglicht es Benutzern, Wafer für schnellere Ladezeiten vor- und nachzuladen. Zusätzlich zu allen oben genannten bietet TEL VCF 615S mehrere Zubehörteile, die seine Leistung verbessern können. Eine davon ist der Diffusionsmonitor, der den Diffusionsprozess in Echtzeit überwacht, um Sicherheit und Genauigkeit zu gewährleisten. Der Monitor verfügt außerdem über eine integrierte Farbanzeige, mit der Sie den Prozess beobachten und Daten eingeben können. Weiteres Zubehör wie ein Datenlogger und Druckvakuumsysteme können die Effizienz des Prozesses weiter erhöhen. Abschließend ist VCF-615S ein gut gestalteter vertikaler Diffusionsofen, der viele Funktionen und Zubehör für einen effizienteren Einsatz bietet. Der Ofen und Zubehör sind alle mit Sicherheit und Präzision im Auge entworfen, so dass es ein großartiges Werkzeug für Halbleiteranwendungen.