Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON VCF615C #9137186 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON VCF615C Diffusionsofen und Zubehör ist ein spezialisiertes Werkzeug für die Abscheidung von planaren oder nicht planaren Strukturen mit präziser Positioniergenauigkeit und Zuverlässigkeit. Diese Vorrichtung eignet sich besonders für die Halbleiterherstellung und -entwicklung. TEL VCF615C System umfasst eine Prozesskammer, einen Transferroboter, einen Transporter und eine Enhanced Substrate Transfer Unit (ESTS). Die Prozesskammer ist mit einer für die Verarbeitung größerer Substrate förderlichen Architektur konzipiert und bietet geringe Verschmutzungen. Der Transferroboter ist mit einem Schrittmotor und einer Direktantriebsmaschine ausgestattet, um eine reibungslose und zuverlässige Bewegung für die Übertragung von Substraten zwischen der Kammer und dem Transporter zu gewährleisten. Der Transporter ist ein Hochgeschwindigkeits-Ladewerkzeug, das in der Lage ist, große Mengen an Substraten zu halten und ein schnelles Be-/Entladen der Substrate zu ermöglichen. Schließlich sorgt das ESTS für eine schnelle und präzise Ausrichtung der Substrate. Die Anlage bietet eine breite Palette von Substratfunktionen, darunter Wafer in Größen von 3 bis 12 Zoll, sowie Metallfolien und Bandträger. TOKYO ELECTRON VCF615C bietet zudem eine optimale Prozesssteuerung mit lokaler und Remote-Unterstützung. Es ist auch kompatibel mit einer Reihe von optionalen Funktionen, wie in-situ Endpunkt-Erkennung und Echtzeit-Überwachung von Prozessparametern. Diese Funktionen werden über das TEL Process Data Analysis Model (PDAS) bereitgestellt. VCF615C verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen zum Schutz vor Störungen, einschließlich Öffnungs-/Schließgrenzschalter und Sicherheitseinrichtungen mit reduziertem Druck aktivieren, sobald der Normaldruck in der Kammer überschritten wird. Darüber hinaus ist es für die ergonomische Bedienung mit einem leistungsstarken, programmierbaren Touchscreen und einem kippbaren LCD-Monitor konzipiert. Zusammenfassend ist TEL/TOKYO ELECTRON VCF615C Diffusionsofen und Zubehör eine fortschrittliche Ausrüstung für eine effiziente und zuverlässige Diffusionsbearbeitung von planaren und nicht planaren Strukturen. Es bietet einen hohen Durchsatz in einer sauberen und sicheren Arbeitsumgebung mit einer Reihe fortschrittlicher Substratfähigkeiten für die Halbleiterherstellung und -entwicklung.