Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON VCM-50-003EPR #293666967 zu verkaufen

ID: 293666967
Furnace heater assembly.
TEL/TOKYO ELECTRON VCM-50-003EPR, ist ein qualitativ hochwertiger Diffusionsofen zur Herstellung von Wafern mit zuverlässiger Integrität und einwandfreier Leistung. Es bietet eine hohe Rückverfolgbarkeit und Kontrolle, um den Anforderungen der meisten Ultrahochvakuum (UHV) -Anwendungen gerecht zu werden. TEL VCM-50-003EPR ist mit einem Innenwandofen mit äußerer Isolierung für überlegene Hochtemperaturleistung ausgestattet. Es ist für maximale Vakuumleistung im Bereich von 10-10 Torr ausgelegt. Die Auslegung des Ofens gewährleistet eine gleichmäßige Temperaturverteilung über die UHV-Kammer und Zweizonen-Vakuumatmosphäre für eine optimale Sauerstoffkonzentration. Das Gerät ist mit Quarzreaktionsrohren, einer oberen Druckkuppel zum Halten des Reaktionsrohrs, Quarzrohrbrenner und einer Basisträger für einen einfachen Zugang zum Inneren ausgestattet. Der Ofen umfasst außerdem einen C-förmigen Suszeptor, eine Volledelstahl-Ladekammer und einen Türverriegelungsmechanismus. Der Ofen wurde für eine Vielzahl von Materialien entwickelt, darunter Silizium, Saphir, Galliumnitrid (GaN) und andere Materialien, die in der Halbleiterindustrie verwendet werden. Um maximale Leistung und Rückverfolgbarkeit zu gewährleisten, werden alle im System verwendeten Materialien vor dem Gebrauch gründlich gereinigt. Darüber hinaus ist die genaue Kontrolle von Kohlenstoffgas, Stickstoffgas, Chlorgas und anderen Gasatmosphären die perfekte Wahl für die anspruchsvollsten UHV-Anwendungen. TOKYO ELECTRON VCM-50-003EPR verfügt auch über zuverlässige externe Kühlung für mehr Sicherheit. Das Gerät wird mit sorgfältig ausgewählten thermischen Schläuchen und Behältern für diese Kühlkomponenten geliefert. Dadurch werden alle Außenfächer auf einer sicheren Temperatur gehalten. Um die Sicherheit weiter zu erhöhen, kommt die Maschine auch mit automatischen Überwachungs- und Alarmsystemen mit zusätzlichen Sensoren, um eine stabile Temperatur zu gewährleisten. Zusammenfassend ist VCM-50-003EPR ein fortschrittlicher Diffusionsofen, den die Halbleiterindustrie ausprobiert und vertraut. Es bietet eine hohe Rückverfolgbarkeit und Kontrolle, Volledelstahl Ladekammer, zuverlässige externe Kühlung und sorgfältige Auswahl von thermischen Schlauch und Behälter für erhöhte Sicherheit. Darüber hinaus verfügt es über eine überlegene Vakuumleistung, eine präzise Steuerung der Gasatmosphäre und einen einfachen Zugang für Reinigung und Wartung.
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