Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON VDF 615 #9226260 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON VDF 615
ID: 9226260
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1991
Diffusion furnace, 6" 1991 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615 ist ein fortschrittliches Halbleiterverarbeitungs- und Fertigungswerkzeug, das bei der Herstellung verschiedener Bauelemente verwendet wird. Es handelt sich um einen vertikalen Diffusionsofen (VDF) mit integrierter aktiver atmosphärischer Steuerung, dem VC-ACTS. TEL VDF 615 ermöglicht präzise Prozesstemperierung und schnelle thermische Gradientenregelung. Es wird verwendet, um Dotierstoffe in einen Siliziumwafer einzuführen, was höhere Materialeigenschaften und Geräteleistungen ermöglicht. Der Ofen verfügt über eine isolierte Kammer, in der die Wände und der Boden gegen die Umwelt abgedichtet sind. Dadurch wird sichergestellt, dass keine Luft oder andere Verunreinigungen in die Kammer gelangen und die Reinheit des Prozesses beeinflussen können. Das die Kammer umgebende Isoliermaterial trägt zur Aufrechterhaltung einer gleichmäßigen Temperatur in der gesamten Kammer bei. Die Heizelemente befinden sich in einer kastenförmigen Struktur an der Spitze des TOKYO ELECTRON VDF 615 und sind zur gleichmäßigen Erwärmung der Kammer ausgelegt. Dies ermöglicht eine durchgängige gleichmäßige Temperatur. VDF 615 verfügt auch über eine aktive atmosphärische Steuerung bekannt als VC-ACTS. Diese Einheit besteht aus einer beheizten Umwälzmaschine und einem Vakuumpumpwerk. Das beheizte Umwälzwerkzeug verteilt den Dotierstoff gleichmäßig in die Kammer, während der Vakuumpumpmechanismus den Atmosphärendruck senkt. Dies gewährleistet eine gleichmäßige atmosphärische Kontrolle, wodurch weniger Verunreinigungen in die Kammer gelangen und eine bessere Prozessausbeute erzielt wird. Eine unabhängige Buchhaltung, genannt PIII6, ist in TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615 integriert. Dieses Modell verfolgt und speichert alle Prozessparameterwerte in einem Computer. Dies ermöglicht einen einfachen Vergleich von aktuellen und historischen Daten sowie eine effiziente Speicherverwaltung. Alle Daten können bis zu 2 Jahre gespeichert und über das Internet aus der Ferne abgerufen werden. TEL VDF 615 ist in der Halbleiterindustrie für verschiedene Verarbeitungsanwendungen weit verbreitet. Es bietet zuverlässige, wiederholbare und genaue Leistung. Die integrierte aktive atmosphärische Steuerung und PIII6 Buchhaltungssystem machen dieses Tool zu einer zuverlässigen und benutzerfreundlichen Wahl für die Halbleiterindustrie. Dieser diffusive Ofen wurde entwickelt, um qualitativ hochwertige Produkte zu produzieren, und seine ständige Kontrolle der Atmosphäre liefert konsequente Ergebnisse.
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